Прибор для магнетронного распыления с тремя мишенями
1. Оборудование для нанесения покрытия с тремя мишенями отличается высокой точностью, малой погрешностью результата и большим спокойствием во время использования.
2. Оборудование для нанесения трехцелевого покрытия просто в эксплуатации и сокращает время обучения.
3. Трехцелевое оборудование для нанесения покрытий подходит для различных материалов, что сокращает расход дополнительного оборудования.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Внедрение трехцелевого вакуумного напылительного оборудования:
Оборудование для вакуумного покрытия с тремя мишенями ВТК-600-3HD-1000 — это новое высоковакуумное оборудование для нанесения покрытий, разработанное нашей компанией. Его можно использовать для подготовки однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок политетрафторэтилена и т. д. Оборудование для вакуумного покрытия с тремя мишенями ВТК-600-3HD-1000 оснащено тремя мишенными пушками и тремя источниками питания, один источник питания РФ используется для распыления покрытия непроводящих материалов, один источник питания постоянного тока используется для распыления покрытия проводящих материалов, а сильная магнитная мишень может использоваться для распыления покрытия ферромагнитных материалов. По сравнению с аналогичным оборудованием, оборудование для вакуумного покрытия с тремя мишенями имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации, а также широкий спектр используемых материалов. Это идеальное оборудование для подготовки пленок из различных материалов в лабораторных условиях.
Основные характеристики высоковакуумной установки для напыления с тремя мишенями:
1. Высоковакуумная установка для распыления с тремя мишенями оснащена тремя мишенными пушками, два соответствующих источника питания ВЧ используются для распыления покрытия на непроводящие мишенные материалы, а один соответствующий источник питания постоянного тока используется для распыления покрытия на проводящие материалы.
2. Высоковакуумная установка для распыления с тремя мишенями позволяет изготавливать различные тонкие пленки и широко применяется.
3. Высоковакуумная установка для распыления с тремя мишенями имеет небольшие размеры и проста в эксплуатации.
Технические параметры трехцелевого оборудования для нанесения покрытия:
| Название продукта | ВТК-600-3HD-1000 Прибор для магнетронного распыления с двумя мишенями |
Модель продукта | ВТК-600-3HD-1000 |
Основные параметры | 1. Входная мощность: 220 В/50 Гц. 2. Количество распыляемых мишеней: 3. 3. Внутренний диаметр камеры: Ø300 мм. 4. Метод охлаждения прицельной пушки: водяное охлаждение. 5. Предельная степень вакуума: 7,4E-5Па. 6. Характеристики вакуумной камеры: Φ300×330 мм. 7. Вакуумная система: механический насос ВРД-16, турбомолекулярный насос ФФ-100/150. 8. Восстановление вакуума: Система откачивается из атмосферы до 5,0E-3Па≤30 мин (система подвергается воздействию атмосферы в течение короткого времени). 9. Система накачивания: двухходовой массовый расходомер (1-ходовой аргон 100 куб. см, 1-ходовой аргон 200 куб. см). Специальный газ может быть изготовлен по индивидуальному заказу. 10. Характеристики распыляемой мишени: Φ2", толщина 0,1-5 мм (толщина варьируется в зависимости от материала мишени). 11. Подставка для образца: Φ70 мм // с подогревом (комнатная температура ~ 1000 ℃). |
Технические характеристики продукта | Размеры хоста: ширина 900 мм × глубина 650 мм × высота 1100 мм |
Гарантия：
Гарантия на один год с пожизненной поддержкой (не включая детали, заржавевшие из-за ненадлежащих условий хранения).
Логистика
О нас:
Наша компания много лет глубоко вовлечена в сферу производства пленки и имеет превосходный опыт. В то же время наша компания имеет разнообразное оборудование, подходящее для различных материалов, чтобы удовлетворить ваши различные потребности. Мы также можем помочь вам протестировать эффект оборудования. Вы можете предоставить образцы, и мы подготовим образцы, чтобы вы могли увидеть эффект нашей продукции более наглядно. Если вы одобряете нашу продукцию, вы можете купить ее и позволить вам выполнять свою работу более гладко.
