Прибор для магнетронного распыления с тремя мишенями
1. Оборудование для нанесения покрытия с тремя мишенями отличается высокой точностью, малой погрешностью результатов и большим спокойствием во время использования.
2. Оборудование для нанесения трехцелевого покрытия просто в эксплуатации и сокращает время обучения.
3. Трехцелевое оборудование для нанесения покрытий подходит для самых разных материалов, что сокращает расход дополнительного оборудования.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Внедрение трехцелевого вакуумного напылительного оборудования:
Оборудование для вакуумного нанесения покрытий с тремя мишенями ВТК-600-3HD-1000 — это новое высоковакуумное оборудование для нанесения покрытий, разработанное нашей компанией. Оно может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок политетрафторэтилена и т. д. Оборудование для вакуумного нанесения покрытий с тремя мишенями ВТК-600-3HD-1000 оснащено тремя мишенными пушками и тремя источниками питания, один источник питания ВЧ используется для распыления покрытия непроводящих материалов, один источник питания постоянного тока используется для распыления покрытия проводящих материалов, а сильная магнитная мишень может использоваться для распыления покрытия ферромагнитных материалов. По сравнению с аналогичным оборудованием, оборудование для вакуумного нанесения покрытий с тремя мишенями имеет такие преимущества, как небольшой размер и простота эксплуатации, а также возможность использования широкого спектра материалов. Это идеальное оборудование для получения пленок из различных материалов в лабораторных условиях.
Основные характеристики высоковакуумной установки для напыления с тремя мишенями:
1. Высоковакуумная установка для распыления с тремя мишенями оснащена тремя мишенными пушками, два соответствующих источника питания ВЧ используются для распыления покрытия на непроводящие мишени и один соответствующий источник питания постоянного тока используется для распыления покрытия на проводящие материалы.
2. Высоковакуумная установка для распыления с тремя мишенями позволяет получать разнообразные тонкие пленки и широко используется.
3. Высоковакуумная установка для распыления с тремя мишенями имеет небольшие размеры и проста в эксплуатации.
Технические параметры трехцелевого оборудования для нанесения покрытия:
| Название продукта | ВТК-600-3HD-1000 Прибор для магнетронного распыления с двумя мишенями |
Модель продукта | ВТК-600-3HD-1000 |
| Условия установки | Данное оборудование должно эксплуатироваться в условиях температуры 25 ℃ ± 15 ℃ и влажности 55 % ± 10 % относительной влажности. 1. Вода: Оборудование оснащено самоциркуляционным охладителем (заполняется очищенной или деионизированной водой). 2. Питание: переменный ток 220 В, 50 Гц, обязательно наличие надлежащего заземления. 3. Газ: Камера должна быть заполнена аргоном (чистота ≥ 99,99%). Баллон с аргоном (с двойным фитингом Ø6 мм) и редуктор давления должны быть подготовлены пользователем. 4. Верстак: Размеры 1500 мм × 600 мм × 700 мм, грузоподъемность ≥ 200 кг. 5. Вентиляция: обязательна. |
Основные параметры | 1. Входная мощность: 220В/50Гц. 2. Количество распыляемых мишеней: 3. 3. Внутренний диаметр камеры: Ø300мм. 4. Способ охлаждения прицельной пушки: водяное охлаждение. 5. Предельная степень вакуума: 7,4Е-5Па. 6. Характеристики вакуумной камеры: Φ300×330 мм. 7. Вакуумная система: механический насос ВРД-16, турбомолекулярный насос ФФ-100/150. 8. Восстановление вакуума: Система откачивается из атмосферы до 5,0E-3Па≤30 мин (система подвергается воздействию атмосферы в течение короткого времени). 9. Система накачки: двухходовой массовый расходомер (1-ходовой аргон 100 см3, 1-ходовой аргон 200 см3). Специальный газ может быть изготовлен по индивидуальному заказу. 10. Технические характеристики мишени для распыления: Φ2", толщина 0,1-5 мм (толщина варьируется в зависимости от материала мишени). 11. Предметный столик: Φ70 мм // с подогревом (комнатная температура ~ 1000 ℃). |
Технические характеристики продукта | Размеры хоста: ширина 900 мм × глубина 650 мм × высота 1100 мм |
Дополнительные аксессуары
| Нет. | Имя | Категория функции | Изображение |
| 1 | Различные мишени (золото, индий, серебро, платина и т. д.) | Необязательный | - |
| 2 | Сильная магнитная мишень (для распыления ферромагнитных материалов) | Необязательный | - |
| 3 | Маска | Необязательный | - |
| 4 | Вибрационный столик для образцов | Необязательный | - |
| 5 | Двухслойное вращающееся приспособление для нанесения покрытия | Необязательный |  |
Гарантия：
Ограниченная по сроку эксплуатации гарантия сроком на один год (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения).
Логистика
О нас:
Наша компания много лет активно работает в сфере производства плёнки и обладает богатым опытом. Кроме того, у нас имеется разнообразное оборудование, подходящее для различных материалов, чтобы удовлетворить ваши потребности. Мы также можем помочь вам протестировать оборудование. Вы можете предоставить образцы, и мы изготовим их для вас, чтобы вы могли наглядно оценить эффективность нашей продукции. Если вам понравится наша продукция, вы сможете приобрести её, что позволит вам работать более эффективно.
От консультаций до послепродажного обслуживания мы обеспечиваем первоклассный сервис для каждого клиента. Наша команда профессионалов порекомендует вам подходящее оборудование, окажет техническую поддержку в процессе эксплуатации, ответит на ваши вопросы и поможет вам реализовать проект более эффективно. Мы уверены, что благодаря нашему многолетнему опыту мы можем помочь большему количеству компаний достичь своих целей.
