Установка плазменного напыления с 3 источниками распыления и перчаточным ящиком
Система подготовки тонкопленочных аккумуляторов ВГБ-600-3HD может выполнять экспериментальные операции в перчаточном боксе и используется для подготовки однослойной или многослойной сегнетоэлектрической пленки, проводящей пленки, пленки сплава, полупроводниковой пленки, керамической пленки, диэлектрической пленки, оптическая пленка, оксидная пленка, твердая пленка, пленка из ПТФЭ и т. д. Система оснащена тремя мишенными пистолетами и одним источником высокочастотного питания для нанесения покрытий методом распыления на различные мишени. Радиочастотный источник питания можно подключить к любой целевой головке с помощью безобрывного переключателя.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 44 рабочих дня
- 50 комплектов
- Информация
Основные характеристики
1. Система оснащена тремя мишенными пушками и одним источником ВЧ-питания для нанесения покрытий на различные мишени. Радиочастотный источник питания можно подключить к любой целевой головке с помощью безобрывного переключателя. (Целевой пистолет может быть заменен в соответствии с потребностями клиента).
2. Можно получить разнообразные тонкие пленки для широкого спектра применений.
3. Небольшой размер и простота в эксплуатации.
4. Модульная конструкция всей машины; раздельная/раздельная конструкция вакуумной камеры, группы вакуумных насосов и источника питания управления, которые можно регулировать в соответствии с фактическими потребностями пользователей. (необязательный)
5. Источник питания можно выбрать в соответствии с фактическими потребностями пользователя. Один источник питания может управлять несколькими целевыми орудиями, или несколько источников питания могут управлять одним целевым пистолетом.
6. Экспериментальную операцию можно проводить в перчаточном боксе, а для экспериментов по нанесению покрытий можно заменять различные виды легко окисляемых мишеней.
ТТехнические параметры
наименование товара | Система подготовки тонкопленочных аккумуляторов ВГБ-600-3HD |
Модель продукта | ВГБ-600-3HD |
Основные параметры (Спецификация) | Трехголовочная магнетронная распылительная часть: 1. Напряжение питания: 220 В, 50 Гц. 2. Общая мощность: 2,5 кВт. 3. Предел степени вакуума: E-6 мбар (E-3 мбар может быть достигнут при использовании механического насосного оборудования нашей компании) 4. Температура нагрева: РТ-500℃, точность ±1℃ (температура может быть увеличена в соответствии с фактическими потребностями). 5. Количество мишеней: 3 шт. 6. Способ охлаждения мишенного пистолета: водяное охлаждение. 7. Размер целевого материала: Ø2 дюйма, толщина 0,1-5 мм (разная толщина из-за разных целевых материалов). 8. Источник питания для распыления: 300 Вт (РЧ)/500 Вт (постоянный ток). 9. Стол для образцов: Ø140 мм. 10. Скорость этапа отбора проб: регулируется в пределах от 1 до 20 об/мин. 11. Рабочий газ: Ар, N.2и другие инертные газы 12. Путь впуска воздуха: Массовый расходомер контролирует два канала впуска воздуха: один — 100SCCM, другой — 200SCCM. Часть перчаточного ящика: 1. Источник питания: однофазный переменный ток 110–220 В, 50 Гц/60 Гц. 2. Материал корпуса: нержавеющая сталь 304. 3. Перчаточный ящик: 1220×760×900 мм. 4. Передняя камера: имеются 2 передние камеры: большая передняя камера Ø360×600 мм и маленькая передняя камера Ø150×300 мм. 5. Среда камеры: содержание воды &лт;1 ppm (20 ℃, 1 атм), содержание кислорода &лт;1 ppm (20 ℃, 1 атм). 6. Рабочий газ: Н.2, Ар, Он и другие инертные газы 7. Управляющий газ: сжатый воздух или инертный газ. 8. Газ-восстановитель: смесь рабочего газа и H.2 (если система очистки имеет функцию только удаления воды, газ-восстановитель тот же, что и рабочий газ.) 9. Система очистки газов: Немецкий раскисляющий материал БАСФ, американский высокоэффективный водопоглощающий материал ЮОП, автоматический контроль процесса регенерации системы очистки, функции автоматического удаления воды и кислорода, способные непрерывно поддерживать чистоту газа (на уровне воды &лт;1ppm и кислорода &лт;1ppm). ) в долгосрочной перспективе 10. Система контроля давления: Давление воздуха в камере может автоматически контролироваться с помощью сенсорного экрана ПЛК, точность управления составляет ± 1 Па, а также может управляться вручную с помощью ножного переключателя. 11. Система фильтрации: фильтры установлены на входе и выходе, точность фильтрации составляет 0,3 мкм. 12. Система управления: цветной сенсорный экран СИМЕНС (6 дюймов), система управления ПЛК, двуязычное переключение на китайском и английском языках. * Зонд для воды изготовлен под американским брендом GE, с сенсорным дисплеем 0–1000 ppm и точностью 0,1 ppm. * Передатчик кислорода изготовлен под американским брендом АII, с сенсорным экраном 0–1000 ppm и точностью 0,1 ppm. * Датчик давления использует американскую марку Сетра, имеет сенсорный экран -2500-2500 Па и точность ±1 Па. 13. Вакуумный насос: британский бренд ЭДВАРДС со скоростью откачки 8,4 м3/ч-12 м.3/час 14. Перчатки: американская марка СЕВЕР (бутилсинтетический каучук). 15. Система освещения: марка Филипс (люминесцентная лампа). |
Размер продукта | Деталь магнетронного распыления с тремя головками: 950 мм × 460 мм × 810 мм. Часть перчаточного ящика: 2300×1500×1900 мм. |
Гарантия
Ограничение на один год с пожизненной поддержкой (не включая заржавевшие детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
