Оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления в высоком вакууме

Знакомство с лабораторным оборудованием для нанесения покрытий:

ВТК-800G — это небольшое оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления, разработанное нами самостоятельно. Малое оборудование для нанесения покрытий широко используется при изготовлении однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок и пленок политетрафторэтилена.

Небольшое оборудование для нанесения покрытий может быть оснащено многоцелевой системой пистолетов, которая поддерживает распыление непроводящих материалов с использованием высокочастотной энергии и распыление проводящих материалов с использованием постоянного тока для удовлетворения различных технологических требований.

По сравнению с аналогичным оборудованием, оборудование для нанесения покрытий ВТК-800G Маленький имеет небольшие размеры, простое в эксплуатации и гибкое в применении. Это идеальный выбор для лабораторной подготовки функциональных тонкопленочных материалов, особенно подходит для исследований и разработок новых материалов, таких как твердые электролиты и OLED.

Основные характеристики оборудования для прецизионного нанесения покрытий:

1. Малое оборудование для нанесения покрытий может быть оснащено несколькими мишенными пистолетами, поддерживающими источники питания ВЧ и постоянного тока, которые используются для распыления покрытий на непроводящие и проводящие мишенные материалы соответственно, а мишенные пистолеты можно гибко заменять по мере необходимости;

2. Оборудование для прецизионного нанесения покрытий совместимо с изготовлением различных функциональных пленок и имеет широкий спектр применения;

3. Оборудование для точного нанесения покрытий имеет небольшие размеры, компактную конструкцию, простое в эксплуатации и подходит для различных лабораторных условий;

4. Оборудование для точного нанесения покрытий имеет модульную конструкцию, а вакуумная камера, насосная группа и система управления питанием разделены и могут гибко комбинироваться в соответствии с фактическими потребностями;

5. Лабораторное оборудование для нанесения покрытий поддерживает несколько методов управления питанием: один источник питания управляет несколькими целевыми пистолетами или несколько источников питания независимо управляют целевыми пистолетами для соответствия различным технологическим требованиям.

Технические параметры оборудования для прецизионного нанесения покрытий:

Название продукта	Оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления
Модель продукта	ВТС-800Г
Основные параметры	1. Конструкция камеры: цилиндрическая конструкция верхней крышки, задняя выхлопная система. 2. Предельный вакуум: 6,0×10-5 Па. 3. Скорость утечки вакуума: ≤0,5 Па в течение 1 часа. 4. Время выпуска: около 30 минут из атмосферы до 5,0×10-3 Па. 5. Конфигурация группы вакуумных насосов: механический насос + молекулярный насос. 6. Параметры образца: · Размер: Ø205 · Диапазон температур: комнатная температура ~ 500℃, точность ±1℃ · Скорость вращения: 5~20 об/мин (регулируется). 7. Функция смещения: необязательная (используется для улучшения качества пленки). 8. Система газонаполнения: двухканальный массовый расходомер (аргон/азот каждый) 9. Угол наклона головки мишени: угол между головкой мишени и центральной осью предметного столика составляет 34°. 10. Количество целевых головок: 2 в стандартной комплектации (опционально может быть увеличено до 4). 11. Метод охлаждения прицельной пушки: водяное охлаждение 12. Характеристики материала мишени: диаметр Ø3″, толщина 0,1~5 мм (в зависимости от материала мишени)
	13. Технические характеристики оборудования для нанесения покрытий методом магнетронного распыления: · Габариты: 700мм×1093мм×1380мм

О нас:

Наша компания много лет глубоко вовлечена в сферу производства пленки и имеет превосходный опыт. В то же время наша компания имеет разнообразное оборудование, подходящее для различных материалов, чтобы удовлетворить ваши различные потребности. Мы также можем помочь вам протестировать эффект оборудования. Вы можете предоставить образцы, и мы подготовим образцы, чтобы вы могли увидеть эффект нашей продукции более наглядно. Если вы одобряете нашу продукцию, вы можете купить ее и позволить вам выполнять свою работу более гладко.