Оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления в высоком вакууме

Знакомство с лабораторным оборудованием для нанесения покрытий:

Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления ВТК-800G – это малогабаритная установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления, разработанная нами. Малогабаритная установка широко используется для нанесения покрытий на однослойные и многослойные сегнетоэлектрические, проводящие, сплавные, полупроводниковые, керамические, диэлектрические, оптические, оксидные, твёрдые и политетрафторэтиленовые плёнки.

Небольшое оборудование для нанесения покрытий может быть оснащено многоцелевой системой распылителей, которая поддерживает распыление непроводящих материалов с использованием ВЧ-мощности и распыление проводящих материалов с использованием постоянного тока для удовлетворения различных технологических требований.

По сравнению с аналогичным оборудованием, установка для нанесения покрытий ВТК-800G Маленький отличается компактными размерами, простотой эксплуатации и гибкостью применения. Она идеально подходит для лабораторной подготовки функциональных тонкоплёночных материалов, особенно для исследований и разработки новых материалов, таких как твёрдые электролиты и органические светодиоды (OLED).

Основные характеристики оборудования для прецизионного нанесения покрытий:

1. Небольшое оборудование для нанесения покрытий может быть оснащено несколькими мишенными пистолетами, поддерживающими источники питания ВЧ и постоянного тока, которые используются для распыления покрытий на непроводящие и проводящие мишенные материалы соответственно, а мишенные пистолеты можно гибко заменять по мере необходимости;

2. Оборудование для прецизионного нанесения покрытий совместимо с изготовлением различных функциональных пленок и имеет широкий спектр применения;

3. Оборудование для точного нанесения покрытий имеет небольшие размеры, компактную конструкцию, простое в эксплуатации и подходит для различных лабораторных условий;

4. Оборудование для прецизионного нанесения покрытий имеет модульную конструкцию, а вакуумная камера, насосная группа и система управления мощностью разделены и могут гибко комбинироваться в соответствии с фактическими потребностями;

5. Лабораторное оборудование для нанесения покрытий поддерживает несколько методов управления мощностью: один источник питания управляет несколькими целевыми пистолетами или несколько источников питания независимо управляют целевыми пистолетами для удовлетворения различных технологических требований.

Технические параметры оборудования для прецизионного нанесения покрытий:

Название продукта	Оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления
Модель продукта	ВТК-800G
Основные параметры	1. Конструкция камеры: цилиндрическая конструкция верхней крышки, задняя выхлопная система. 2. Предельный вакуум: 6,0×10-5 Па. 3. Скорость утечки вакуума: ≤0,5 Па в течение 1 часа. 4. Время выпуска: около 30 минут из атмосферы до 5,0×10-3 Па. 5. Конфигурация группы вакуумных насосов: механический насос + молекулярный насос. 6. Параметры образца: · Размер: Ø205 · Диапазон температур: комнатная температура ~ 500℃, точность ±1℃ · Скорость вращения: 5~20 об/мин (регулируется). 7. Функция смещения: опциональная (используется для улучшения качества пленки). 8. Система газонаполнения: двухканальный массовый расходомер (аргон/азот каждый) 9. Угол наклона головки мишени: угол между головкой мишени и центральной осью предметного столика составляет 34°. 10. Количество целевых головок: стандартно 2 (опционально может быть расширено до 4). 11. Метод охлаждения прицельной пушки: водяное охлаждение 12. Характеристики материала мишени: диаметр Ø3″, толщина 0,1~5 мм (в зависимости от материала мишени)
	13. Технические характеристики оборудования для нанесения покрытий методом магнетронного распыления: · Общие размеры: 700 мм×1093 мм×1380 мм

О нас:

Наша компания много лет активно работает в сфере производства плёнки и обладает богатым опытом. Кроме того, у нас имеется разнообразное оборудование, подходящее для различных материалов, чтобы удовлетворить ваши потребности. Мы также можем помочь вам протестировать оборудование. Вы можете предоставить образцы, и мы изготовим их для вас, чтобы вы могли наглядно оценить эффективность нашей продукции. Если вам понравится наша продукция, вы сможете приобрести её, что позволит вам работать более эффективно.