Установка плазменного напыления с 3 источниками распыления
Устройство для нанесения магнетронного напыления с тремя головками ВТЦ-600-3HD — это оборудование для нанесения покрытий, недавно разработанное нашей компанией, которое используется для изготовления однослойных или многослойных ферроэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок. , оптическая пленка, оксидная пленка, твердая пленка, пленка из ПТФЭ и т. д. Трехголовочная установка для магнетронного распыления ВТЦ-600-3HD оснащена тремя целевыми пистолетами, одним источником радиочастотного питания для распыления покрытия непроводящих материалов и двумя источниками постоянного тока. расходные материалы для напыления токопроводящих материалов.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 22 рабочих дня
- 50 комплектов
- Информация
Основные характеристики
1. Он оснащен тремя мишенными пистолетами, один источник ВЧ-питания используется для напыления непроводящих материалов, а два источника постоянного тока используются для напыления проводящих материалов (мишенной пистолет можно заменить в соответствии с потребностями клиента). .
2. Можно получить разнообразные тонкие пленки для широкого спектра применений.
3. Небольшой размер и простота в эксплуатации.
4. Модульная конструкция всей машины; раздельная/раздельная конструкция вакуумной камеры, группы вакуумных насосов и источника питания управления, которые можно регулировать в соответствии с фактическими потребностями пользователей.
5. Источник питания можно выбрать в соответствии с фактическими потребностями пользователя. Один источник питания может управлять несколькими целевыми орудиями, или несколько источников питания могут управлять одним целевым пистолетом.
ТТехнические параметры
наименование товара | ВТЦ-600-3HD Устройство для нанесения магнетронного напыления с тремя головками |
Модель продукта | ВТЦ-600-3HD |
Условия установки | Данное оборудование необходимо использовать на высоте не более 1000 м, при температуре 25℃±15℃ и влажности 55%резус±10%резус. 1. Вода: оборудование оснащено самоциркуляционным водяным охладителем (заполнение чистой водой или деионизированной водой). 2. Электричество: 220 В переменного тока, 50 Гц, должно быть хорошее заземление. 3. газ: Камера оборудования должна быть заполнена аргоном (чистота 99,99% или более), а баллоны с аргоном (с двойными уплотнительными соединениями диаметром 6 мм) и редукционный клапан должны быть предоставлены пользователем. 4. Верстак: размер 1500×600×700 мм, нагрузка более 200 кг. 5. Устройство вентиляции: необходимо. |
Основные параметры (Спецификация) | 1. Напряжение источника питания: 220 В, 50 Гц. 2. Мощность: &лт;2,5 кВт. 3. Предел степени вакуума: E-6мбар (E-5мбар может быть достигнут при использовании оборудования нашей компании) 4. Температура нагрева: РТ-500℃, точность ±1℃ (температура может быть увеличена в соответствии с фактическими потребностями). 5. Количество мишеней: 3 шт. 6. Способ охлаждения мишенного пистолета: водяное охлаждение. 7. Размер целевого материала: Ø2 дюйма, толщина 0,1-5 мм (разная толщина из-за разных целевых материалов). 8. Мощность распыления постоянного тока: 500 Вт (опционально). 9. Мощность радиочастотного распыления: 300 Вт/500 Вт (опционально) 10. Стол для образцов: Ø140 мм, дополнительная функция напряжения смещения может быть установлена в соответствии с требованиями заказчика для достижения более высокого качества покрытия. 11. Скорость этапа отбора проб: регулируется в пределах от 1 до 20 об/мин. 12. Рабочий газ: Ар, N.2и другие инертные газы 13. Путь впуска воздуха: Массовый расходомер контролирует два канала впуска воздуха: один — 100SCCM, другой — 200SCCM. |
Размер и вес продукта | Размер основной машины: 500×560×660 мм. Габаритные размеры: 1300×660×1200 мм. Вес: 160 кг
|
Стандартные аксессуары | 1. Система управления питанием постоянного тока: 2 комплекта. 2. Система управления радиочастотной мощностью: 1 комплект. 3. Система контроля толщины пленки: 1 комплект. 4. Молекулярный насос (импортирован из Германии): 1 шт. 5. Кулер для воды: 1 шт. 6.Полиэфирная ПУ труба (Ø6мм): 4м |
дополнительные аксессуары | 1. Различные мишенные материалы, такие как золото, индий, серебро, платина и т. д. 2. Маска 3. Вибрационный столик для образцов |
Гарантия
Ограничение на один год с пожизненной поддержкой (не включая заржавевшие детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
