Двухголовочный высоковакуумный магнетронный плазменный распылитель

Модель продукта

ВТК-600-2HD

Условия установки

1.Требования к рабочему столу:
   · Размеры: Д1300мм × Ш750мм × В700мм; грузоподъемность ≥200кг.

2.Водоснабжение:
   · Оснащен самоциркуляционным охладителем КДж-5000 (использует очищенную или деионизированную воду).

3.Газоснабжение:
  · Требуется аргоновый газ (чистота ≥99,99%).
  · Пользователь должен подготовить собственный баллон с аргоном (с двойным фитингом Ø6 мм) и регулятор давления.

4.Вентиляция:
  · Место установки должно хорошо проветриваться (при необходимости можно установить дополнительную вытяжную систему).

5.Источник питания:  

  · Однофазный: переменный ток 220 В, 50 Гц, 10 А.
  · На источнике питания необходимо установить воздушный выключатель на 16 А.

6. Условия окружающей среды:  

  · Рабочая температура: 25℃ ±15℃; влажность: ≤55% РХ ±10%.  

  · Окружающая среда должна быть сухой, не содержащей пыли и легковоспламеняющихся или взрывоопасных газов.

Основные параметры

(Спецификация)

Категория

Спецификация

Замечания

Размер вакуумной камеры: Д φ295 × В265 мм

Комплект вакуумного насоса：

• Турбонасос: Гипасе 80
• Резервный насос: мембранный насос МВП015-2DC

Оригинальный Пфайффер (Германия)

Требуемый базовый вакуум перед осаждением

Предельный вакуум: 5,0E-4 Па (5,0E-6 гПа)

Рабочее давление: 0,1–5 Па (0,001–0,05 гПа)

В основном аргон; могут быть добавлены реактивные газы

• Форвакуумный насос 1 м³/ч; Турбонасос 67 л/с

Время вакуумирования зависит от скорости откачки

ПКонфигурация источника питания

Тип и количество мощности:

округ Колумбия ×1, РФ ×1

округ Колумбия: для металлических целей, РФ: для изолирующих целей; (Дополнительная сильная магнитная цель может быть согласована с типом мощности)

Диапазон выходной мощности:

• Постоянный ток: 0–500 Вт

• ВЧ: 0–300 Вт

Мощность илирежим вывода / Максимальная выходная мощность

Согласующее сопротивление: 50 Ом

Обеспечивает эффективность и стабильность передачи энергии

Газовый контроль

Рабочий газ: стандартныйd: Аргон (Ар)

Рекомендуется: Ар, чистота 99,999

Поток газа(2 канала)

• Канал 1: 1–100 см3/мин
• Канал 2: 1–200 см3/мин

ТОПри необходимости можно настроить другие типы защитных газов.

Точность расходомера: ±1% полной шкалы

≈5,2 дюйма

Скорость вращения: 1–20 об/мин

Улучшает однородность пленки

Температура нагрева: РТ~500°C

Температура поверхности образца

Точность измерения температуры: ±1°C

Магнетронная мишень

Целевое количество: 2 шт.

Можно использовать независимо или одновременно.

Размер цели: Ø2 дюйма, толщина 0,1–5 мм

Толщина варьируется в зависимости от материала цели.

Расстояние от цели до подложки: регулируемое, 85–115 мм

Большее расстояние улучшает равномерность, немного снижает скорость

Метод охлаждения: водяное охлаждение

Циркуляция воды для охлаждения мишени

Эффективность осаждения и другие характеристики

Ключевые факторы: оптимизированное расстояние от мишени до подложки и скорость вращения

Избыточная толщина может привести к растрескиванию под напряжением.

Максимальная входная мощность:

• Основной блок: 500 Вт;

• ВЧ-источник питания: 1100 Вт;

• Источник питания постоянного тока: 750 Вт

Основной блок, источник питания ВЧ, источник питания постоянного тока и монитор толщины пленки имеют независимое питание.

• Однофазный переменный ток 220 В 50/60 Гц

Размеры основного блока: 600 мм × 750 мм × 900 мм

Высота с открытой крышкой: 1050 мм

ТООбщие размеры: 1300 мм×750 мм×900 мм

явключает в себя пространство управления и насоса

Система управления источником постоянного тока

1 комплект

Система управления радиочастотным источником питания

1 комплект

Система контроля толщины пленки

1 комплект

Турбонасос

(немецкий импортный или отечественный с более высокой скоростью откачки))

1 единица

Чиллер

1 единица

Полиэстеровая полиуретановая трубка (Ø6 мм)

4m

Различные целевые материалы, такие как золото, индий, серебро, платина и т. д.

Необязательный

Дополнительная сильная магнитная мишень для распыления ферромагнитных материалов

Двухслойное вращающееся приспособление для осаждения