Двухголовочная установка для магнетронного плазменного напыления в высоком вакууме

Модель продукта

ВТЦ-600-2HD

Условия установки

Данное оборудование необходимо использовать на высоте не более 1000 м, при температуре 25℃±15℃ и влажности 55%резус±10%резус.

1. Вода: оборудование оснащено самоциркуляционным водяным охладителем (заполнение чистой водой или деионизированной водой).

2. Электричество: 220 В переменного тока, 50 Гц, должно быть хорошее заземление.

3. газ: Камера оборудования должна быть заполнена аргоном (чистота 99,99% или более), а баллоны с аргоном (с двойными уплотнительными соединениями диаметром 6 мм) и редукционный клапан должны быть предоставлены пользователем.

4. Верстак: размер 1500×600×700 мм, нагрузка более 200 кг.

5. Устройство вентиляции: необходимо.

Основные параметры

(Спецификация)

1. Напряжение питания: 220 В, 50 Гц.

2. Мощность: 900 Вт.

3. Внутренний диаметр камеры: Ø300мм

4. Предел степени вакуума: 9,0×10-4Па.

5. Температура нагрева предметного столика: РТ-500℃, точность ±1℃ (температура может быть увеличена в соответствии с фактическими потребностями).

6. Количество мишеней: 2 шт. (другое количество по запросу)

7. Способ охлаждения мишенного пистолета: водяное охлаждение.

8. Размер целевого материала: Ø2 дюйма, толщина 0,1-5 мм (разная толщина из-за разных целевых материалов).

9. Мощность распыления постоянного тока: 500 Вт; Мощность радиочастотного распыления: 300 Вт (Тип целевого источника питания не является обязательным, можно выбрать два источника питания постоянного тока, два источника ВЧ-питания или один источник постоянного тока плюс один источник ВЧ-питания.)

10. Стол для образцов: Ø140 мм, дополнительная функция напряжения смещения может быть установлена ​​в соответствии с требованиями заказчика для достижения более высокого качества покрытия.

11. Скорость этапа отбора проб: регулируется в пределах 1-20 об/мин.

12. Рабочий газ: Ар и другие инертные газы.

13. Путь впуска воздуха: Массовый расходомер контролирует два канала впуска воздуха: один — 100SCCM, другой — 200SCCM.

Размер и вес продукта

1. Размер основной машины: 500×560×660 мм.

2. Габаритные размеры: 1300×660×1200 мм.

3. Размер вакуумной камеры: φ300×300 мм.

4. Вес: 160 кг.

Стандартные аксессуары

1. Система управления питанием постоянного тока: 1 комплект.

2. Система управления радиочастотной мощностью: 1 комплект.

3. Система контроля толщины пленки: 1 комплект.

4. Молекулярный насос (импортирован из Германии): 1 шт.

5. Кулер для воды: 1 шт.

6.Полиэфирная ПУ труба (Ø6мм): 4м

дополнительные аксессуары

Различные мишенные материалы, такие как золото, индий, серебро, платина и т. д.