Высоковакуумная установка плазменного магнетронного напыления
1. Входная мощность двухмишенной магнетронной распылительной установки составляет 220 В/50 Гц, а внутренний диаметр полости составляет Ø300 мм.
2. В качестве метода охлаждения мишени в установке магнетронного распыления с двумя мишенями используется водяное охлаждение.
3. Система газового наполнения установки магнетронного распыления с двумя мишенями использует двухходовой массовый расходомер (одноходовой аргон 100 см3, двухходовой аргон 200 см3). Специальные газы могут быть изготовлены по индивидуальному заказу.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Внедрение двухголовочной установки магнетронного распыления:
Установка для нанесения покрытий с двумя головками магнетронного распыления ВТК-600-2HD-1000 — это новое высоковакуумное оборудование для нанесения покрытий, разработанное нашей компанией. Она может использоваться для подготовки однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок политетрафторэтилена и т. д. Установка для нанесения покрытий с двумя головками магнетронного распыления оснащена двумя мишенями и двумя источниками питания: один источник ВЧ-питания используется для распыления покрытий на непроводящие материалы, а один источник питания постоянного тока — для распыления покрытий на проводящие материалы. Установка для нанесения покрытий с двумя головками магнетронного распыления может быть оснащена сильными магнитными мишенями для распыления покрытий на ферромагнитные материалы. По сравнению с аналогичным оборудованием установка для нанесения покрытий с двумя головками магнетронного распыления обладает такими преимуществами, как небольшой размер и простота эксплуатации, а также широкий спектр используемых материалов. Это идеальное оборудование для подготовки пленок из различных материалов в лабораторных условиях.
Преимущества двухголовочной установки плазменного напыления с магнетронным напылением:
1. Двухголовочная установка плазменного магнетронного напыления оснащена двумя мишенными пушками, одна с ВЧ-источником питания для распыления покрытия на непроводящие мишенные материалы, а другая с источником питания постоянного тока для распыления покрытия на проводящие материалы.
2. Установка плазменного напыления с двумя головками магнетронного типа позволяет наносить различные тонкие пленки и имеет широкий спектр применения.
3. Установка плазменного напыления с двумя головками магнетронного типа имеет небольшие размеры и очень проста в эксплуатации.
Технические параметры установки магнетронного распыления с двумя мишенями:
| Название продукта | Установка магнетронного напыления с двумя головками ВТК-600-2HD-1000 |
| Модель продукта | ВТК-600-2HD-1000 |
| Условия установки | Данное оборудование необходимо использовать при температуре 25℃±15℃ и влажности 55%резус-фактор±10%резус-фактор. 1. Вода: Оборудование оснащено самоциркуляционной охлаждающей водой (заполненной чистой или деионизированной водой). 2. Электричество: переменный ток 220 В, 50 Гц, должно быть хорошо заземлено. 3. Газ: Камеру оборудования необходимо заполнить аргоном (чистотой более 99,99%), и вам необходимо подготовить собственный баллон с аргоном (с двухконтурным соединителем Ø6 мм) и редукционный клапан. 4. Верстак: размеры 1500мм×600мм×700мм, грузоподъемность более 200кг. 5. Вентиляционное устройство: обязательно. |
| Основные параметры | 1. Входная мощность: 220В/50Гц. 2. Количество распыляемых мишеней: 2. 3. Внутренний диаметр камеры: Ø300мм. 4. Способ охлаждения прицельной пушки: водяное охлаждение. 5. Предельная степень вакуума: 9,0×10-4Хорошо. 6. Характеристики вакуумной камеры: Φ300×330 мм. 7. Вакуумная система: механический насос ВРД-16, турбомолекулярный насос ФФ-100/150. 8. Восстановление вакуума: система откачивается из атмосферы до 5,0E.-3па≤30 мин (система подвергается воздействию атмосферы в течение короткого времени). 9. Система накачки: двухходовой массовый расходомер (одноходовой аргон 100 см3, двухходовой аргон 200 см3). Специальные газы могут быть изготовлены по индивидуальному заказу. 10. Технические характеристики мишени для распыления: Φ2", толщина 0,1-5 мм (толщина варьируется в зависимости от материала мишени). 11. Предметный столик: Φ140 мм/вращающийся (1-20 об/мин)/нагреваемый (комнатная температура-1000 ℃). |
| Технические характеристики продукта | Размеры хоста: ширина 900 мм × глубина 650 мм × высота 1100 мм |
О нас:
Перед тем, как изделие покинет завод, наши специалисты проведут комплексное тестирование, чтобы гарантировать точность и стабильность работы. Кроме того, у нас есть профессиональная команда послепродажного обслуживания. Если у вас возникнут вопросы по товару, мы оперативно ответим на них, чтобы ваше оборудование работало стабильно и долго.
