Установка плазменного напыления с 3 источниками напыления и перчаточным боксом
Система подготовки тонкопленочных аккумуляторов ВГБ-600-3HD предназначена для проведения экспериментальных работ в перчаточном боксе и используется для подготовки однослойных и многослойных сегнетоэлектрических, проводящих, сплавных, полупроводниковых, керамических, диэлектрических, оптических, оксидных, твердых пленок, ПТФЭ и т.д. Система оснащена тремя мишенными пушками и одним ВЧ-источником питания для распыления мишеней из различных материалов. ВЧ-источник питания может быть подключен к любой мишенной головке с помощью переключателя.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 44 рабочих дня
- 50 комплектов
- Информация
Введение в продукт
TheСистема осаждения тонкопленочных аккумуляторов ВГБ-600-3HDпредназначен для использования внутри перчаточного бокса и позволяет получать однослойные или многослойные тонкие пленки, такие как сегнетоэлектрические пленки, проводящие пленки, пленки из сплавов, полупроводниковые пленки, керамические пленки, диэлектрические пленки, оптические пленки, оксидные пленки, твердые покрытия и пленки ПТФЭ.
Эта система оснащенатри распылительных пистолета, с однимВЧ-источник питаниякоторый можно переключать на любую из трех мишеней с помощью переключателя передачи, что позволяет осуществлять гибкое распыление различных материалов мишеней.
По сравнению с аналогичным оборудованием, ВГБ-600-3HD предлагаетболее широкая универсальность применения,компактная структура, ипростота эксплуатации, что делает егоидеальный инструмент для приготовления тонких пленок в лаборатории. Особенно подходит дляисследования тонкопленочных аккумуляторов, твердотельных электролитов и OLED-материалов.
В отличие от обычных систем магнетронного распыления эта модель поддерживает распыление с использованиемлитий и мишенные материалы на основе лития, что делает его предпочтительным решением дляэксперименты с тонкопленочными покрытиями в новых энергетических лабораториях.
Основные характеристики
1. Система оснащена тремя мишенными пушками и одним ВЧ-источником питания для распыления мишеней из различных материалов. ВЧ-источник питания может быть подключен к любой мишенной головке с помощью переключателя. (Мишенная пушка может быть заменена в соответствии с потребностями заказчика).
2. Можно изготавливать разнообразные тонкие пленки с широким спектром применения.
3. Компактный размер и простота эксплуатации.
4. Модульная конструкция всей машины; раздельная/раздельная конструкция вакуумной камеры, группы вакуумных насосов и блока управления питанием, которую можно регулировать в соответствии с фактическими потребностями пользователей. (опционально)
5. Источник питания можно выбрать в соответствии с реальными потребностями пользователя. Один источник питания может управлять несколькими мишенями, или несколько источников питания могут управлять одной мишенью.
6. Экспериментальную операцию можно проводить в перчаточном боксе, а для экспериментов по нанесению покрытий можно заменять различные виды легко окисляющихся мишеней.
ТТехнические параметры
Название продукта | Система подготовки тонкопленочных аккумуляторов ВГБ-600-3HD |
Модель продукта | ВГБ-600-3HD |
Основные параметры (Спецификация) | Трехголовочная магнетронная распылительная часть: 1. Напряжение питания: 220 В 50 Гц 2. Общая мощность: 2,5 кВт 3. Предельная степень вакуума: E-6 мбар (E-3 мбар может быть достигнута при использовании механического насосного оборудования нашей компании) 4. Температура нагрева: РТ-500℃, точность ±1℃ (температуру можно увеличивать в соответствии с фактическими потребностями.) 5. Количество мишеней: 3 шт. 6. Метод охлаждения прицельной пушки: водяное охлаждение 7. Размер целевого материала: Ø2″, толщина 0,1–5 мм (различная толщина из-за разных целевых материалов) 8. Источник питания для распыления: 300 Вт (РФ)/500 Вт (округ Колумбия) 9. Предметный столик: Ø140 мм 10. Скорость вращения столика для образца: регулируется в диапазоне от 1 до 20 об/мин. 11. Рабочий газ: Ар, N2и другие инертные газы 12. Впускной воздушный тракт: Расходомер массы контролирует 2 воздухозаборных тракта, один 100SCCM, а другой 200SCCM. Часть вещевого ящика: 1. Электропитание: однофазное переменное напряжение 110–220 В, частота 50–60 Гц. 2. Материал корпуса: нержавеющая сталь 304 3. Отделение вещевого ящика: 1220 мм × 760 мм × 900 мм 4. Передняя камера: имеется 2 передние камеры, большая передняя камера имеет размеры Ø360 мм × 600 мм, а малая передняя камера имеет размеры Ø150 мм × 300 мм. 5. Окружающая среда камеры: содержание воды <1 ppm (20℃, 1 атм), содержание кислорода <1 ppm (20℃, 1 атм) 6. Рабочий газ: N2, Ар, Он и другие инертные газы 7. Управляющий газ: сжатый воздух или инертный газ. 8. Восстановительный газ: смесь рабочего газа и H2 (если система очистки имеет функцию только удаления воды, то восстановительный газ тот же, что и рабочий газ.) 9. Система очистки газа: Немецкий раскислитель БАСФ, американский высокоэффективный водопоглощающий материал УОП, автоматическое управление процессом регенерации системы очистки, автоматические функции удаления воды и кислорода, возможность постоянного поддержания чистоты газа (на уровне воды <1ppm и кислорода <1ppm) в течение длительного времени 10. Система регулирования давления: Давление воздуха в камере может автоматически регулироваться с помощью сенсорного экрана ПЛК, точность регулирования составляет ±1 Па, также его можно регулировать вручную с помощью ножного переключателя. 11. Система фильтрации: Фильтры установлены на входном и выходном концах, точность фильтрации составляет 0,3 мкм. 12. Система управления: цветной сенсорный экран СИМЕНС (6 дюймов), система управления ПЛК, переключение на китайский и английский языки. * Водный зонд изготовлен под американской маркой GE, оснащен сенсорным экраном с диапазоном измерения 0-1000 частей на миллион и точностью 0,1 частей на миллион. * Датчик кислорода изготовлен американской маркой Все права защищены, оснащен сенсорным экраном с диапазоном измерения 0–1000 частей на миллион и точностью 0,1 частей на миллион. * Датчик давления изготовлен американской маркой Сетра, имеет сенсорный экран -2500-2500 Па и точность ±1 Па. 13. Вакуумный насос: британской марки Эдвардс со скоростью откачки 8,4 м3/ч - 12 м3/час 14. Перчатки: американская марка СЕВЕР (бутиловый синтетический каучук) 15. Система освещения: марка Филипс (люминесцентная лампа) |
Измерение продукта | Трехголовочная магнетронная распылительная часть: 950 мм × 460 мм × 810 мм Часть перчаточного ящика: 2300 мм×1500 мм×1900 мм |
Гарантия
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
