Двухголовочная установка для магнетронного плазменного напыления в высоком вакууме

Устройство для нанесения магнетронного напыления с двумя головками ВТЦ-600-2HD — это оборудование для нанесения покрытий в высоком вакууме, недавно разработанное нашей компанией, которое используется для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрическая пленка, оптическая пленка, оксидная пленка, твердая пленка, пленка из ПТФЭ и т. д. Устройство для нанесения магнетронного распыления с двумя головками ВТЦ-600-2HD оснащено двумя целевыми пистолетами и двумя источниками питания, одним источником высокочастотного питания для распыления покрытия непроводящих материалов. материалов и один источник постоянного тока для напыления проводящих материалов.