Высоковакуумный магнетронный распылительный аппарат
1. Предельный вакуум напылительной установки с одной головкой может достигать 8,0X10-5 Па.
2. Установка для напыления с одной головкой оснащена 1 испарительной нагревательной лодочкой, 2 станциями лучевой печи (1 лучевая печь является стандартной), 1 комплектом расходомеров (один комплект для аргона) со стеклянным смотровым окном φ150.
3. После того, как вы получите установку напыления с одной головкой, мы также предоставим вам комплексное послепродажное обслуживание, такое как дистанционное руководство.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Внедрение высоковакуумной установки магнетронного распыления:
Высоковакуумная установка магнетронного распыления ВТК-1HD-ЗФ2 представляет собой многофункциональное высоковакуумное оборудование для нанесения покрытий, включающее в себя установку магнетронного распыления с одной мишенью. Высоковакуумная установка магнетронного распыления может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок политетрафторэтилена и т. д.
Преимущества установки магнетронного плазменного напыления:
1. Установка для нанесения покрытий плазменным напылением магнетрона оснащена нагревательной лодочкой для осаждения паров, которая особенно подходит для осаждения паров металлических пленок, чувствительных к кислороду (таких как Ти, Эл, Ау и т. д.). Над нагревательной лодочкой установки для нанесения покрытий плазменным напылением магнетрона имеется вращающаяся перегородка, 2 станции печи с источником пучка (1 печь с источником пучка является стандартной). 1 комплект расходомеров (один комплект для газа аргона) со стеклянным смотровым окном φ150.
2. Область применения установки плазменного напыления магнетрона: изготовление устройств из перовскитных материалов, двумерных материалов, фотоэлектрических солнечных элементов и т. д.
3.3. Установка для распыления с одной головкой, входная мощность: AC220V/50Hz. Мощность <3,5 кВт.
Технические параметры установки магнетронного плазменного напыления:
| Название продукта | Установка магнетронного напыления высокого вакуума ВТК-1HD-ЗФ2 |
| Модель продукта | ВТК-1HD-ЗФ2 |
| Основные параметры | 1. Вакуумная камера: φ324X330 Предельный вакуум 8,0X10-5Па (молекулярная насосная система) Скорость утечки: 2,0x10-10Па.м3/с Материал - нержавеющая сталь 304, сварка, электрохимическая полировка поверхности. Активная часть герметизирована резиновым уплотнительным кольцом, а неактивная часть — медным уплотнительным кольцом. В силовой передаче используется магнитная муфта. Вакуумная камера имеет целевое положение магнитного управления, набор испарительных электродов (два) и 2 положения печи с источником луча (стандартная печь с 1 источником луча). Зарезервирован один комплект расходомеров (один комплект аргонового газа) со стеклянным смотровым окном φ150 и фланцевым интерфейсом C35. |
2. Головка распылительной мишени: 2 дюйма (φ50,8 мм) Рабочий вакуум: 10Па~0,2Па. Коэффициент использования материала мишени: ссшш35% (стандартная медная мишень 3 мм, вакуум на поверхности мишени 0,5 Па) МАКСИМАЛЬНАЯ мощность: <240 Вт (полное охлаждение) Напряжение изоляции: ссшшш2000 В (с источником питания постоянного тока мощностью 1 500 Вт) | |
3. Сопротивление испарения: Выходное напряжение испарения: переменный ток 0-8 В, плавная регулировка. Предельный ток испарения 200А. Предельная мощность испарения <1,6 кВт. Температура не поддается контролю и измерению. | |
4. Печь с источником пучка: Вместимость тигля: 3 см3. Температура нагрева: от комнатной температуры до 800°C. Температуру нагрева можно измерять, регулировать и контролировать. Точность регулирования температуры: ±0,5°C. Кварцевый тигель с перегородкой и термопарой в стандартной комплектации. Электропитание: 500 Вт, 36 В. | |
5. Предметный столик: φ120. Регулировка температуры: комнатная температура - 500°C. Скорость: 1-20 об/мин. Предметный столик можно поднимать и опускать вручную, максимальный регулируемый ход составляет 50 мм. | |
6. Измеритель толщины пленки эквалайзер-ТМ106-1. 1) Электропитание: 5 В постоянного тока (±10%), максимальный ток 400 мА. 2) Частотное разрешение: ±0,03 Гц. 3) Разрешение толщины пленки: 0,0136Å (алюминий). 4) Точность измерения толщины пленки: ±0,5% в зависимости от условий процесса, особенно положения датчика, нагрузки на материал, температуры и плотности. 5) Скорость измерения: 100 мс-1 с/время, регулируемая. 6) Диапазон измерения: 500000Å (алюминий). 7) Стандартный кристалл датчика: 6 МГц. 8) Интерфейс компьютера: последовательный интерфейс РС-232/485 (скорость передачи данных 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 может быть установлена, бит данных: 8, стоповый бит: 1, проверка: нет) 9) Аналоговый выход: разрешение 8 бит, выход широтно-импульсной модуляции ШИМ (открытый коллектор или внутренний выход 5 В) 10) Рабочая среда: температура 0-50℃, влажность 5%-85%РХ, без конденсации. 11) Размеры: 90мм×50мм×18мм. | |
| 7. Оборудование стандартно оснащено охладителем (модель КДж5000). Клиенты должны предоставить собственный охладитель и деионизированную или очищенную воду. | |
| 8. Потребляемая мощность всей машины: AC220V/50Hz. Мощность <3,5 кВт. | |
9. Технические характеристики продукта: Размер: около 1300мм×660мм×1200мм. Вес: около 160 кг. |
О нас:
У нас есть современное производственное оборудование и строгая система управления качеством, чтобы гарантировать, что каждый продукт соответствует международным стандартам. Среди них наш напылительный коатер с одной головкой, который особенно подходит для испарения металлических пленок, чувствительных к кислороду. Он имеет стабильную производительность и широко используется в области исследования материалов. Наша команда НИОКР продолжает внедрять инновации, объединяя рыночный спрос и отзывы клиентов, чтобы предоставлять более точные и эффективные решения. Благодаря многолетнему опыту работы в отрасли и техническому накоплению мы не только создали хорошую репутацию в отрасли, но и завоевали высокое признание многих клиентов.
