Малая установка плазменного напыления постоянного тока с магнетроном

1. Входная мощность малогабаритного магнетронного плазменного распылительного прибора: 220 В переменного тока, 50/60 Гц

2. Мощность лабораторного округ Колумбия магнетронного распылительного аппарата: <1000 Вт

3. Выходное напряжение лабораторного магнетронного распылительного аппарата постоянного тока: 500 В постоянного тока

4. Ток распыления: 0-80 мА, регулируемый

5. Время напыления: 0–120 с, регулируемое

1. Размеры кварцевой камеры: внешний диаметр 166 мм x внутренний диаметр 150 мм x высота 150 мм

2. Уплотнение: уплотнительное кольцо из фторкаучука

3. На крышке фланца установлена ручная заслонка для предварительного распыления мишени. В качестве входного отверстия для подключения воздухозаборной трубки используется компрессионный фитинг диаметром 6,35 мм. Для заполнения кварцевой камеры воздухом используется ручной стравливающий клапан.

4. Сетка из нержавеющей стали покрывает всю кварцевую камеру для защиты плазмы.

5. Поток рабочего газа в камеру регулируется путем регулировки микропрецизионного регулирующего клапана на правой стороне корпуса, тем самым регулируется уровень вакуума внутри камеры.

6. Ток распыления регулируется потенциометром на правой стороне корпуса.

1. 2-дюймовая мишень для магнетронного распыления без водяного охлаждения. Максимальная рабочая температура мишени для магнетронного распыления составляет 80 градусов Цельсия. При температуре выше 80 градусов Цельсия мишень теряет магнитные свойства и становится неработоспособной.

2. Время напыления: регулируется от 1 до 120 секунд.

3. В комплект входит стандартная медная мишень.

4. Требуемый размер цели: φ2" x (0,5-5) мм толщины

5. Подходит для напыления Ау, Аг, Cu и других металлов (можно приобрести в нашей компании).

1. Предметный столик с регулируемой высотой, с регулируемым расстоянием между предметным столиком и мишенью 25–70 мм.

2. Размер образца: φ2"

3. Дополнительный нагрев предметного столика с максимальной температурой нагрева 500°C.

1. Диапазон измерения: от 1 × 10-4 мбар до 1000 мбар (от 1 × 10-4 до 750 торр)

2. Точность: от 1000 мбар до 20 мбар (30% от показаний)

от 20 до 0,002 мбар (2% от показания)

3. Повторяемость: от 20 до 0,002 мбар (от 0,000 до 0,002 мбар) 2%)

4. Рабочая влажность: ≤80% при 30°C, ≤50% при 40°C, без конденсации;

5. Рабочая температура: 5°C-60°C

1. На приборе установлен прецизионный кварцевый вибрационный толщиномер пленки, позволяющий в режиме реального времени контролировать толщину пленки с разрешением 0,10 Å.

2. Светодиодный дисплей обеспечивает как отображение, так и ввод данных о толщине пленки.

1. Модель: ВРД-8

2. Производительность: 2,2 л/с

3. Мощность двигателя: 370 Вт

4. Предельное давление: 5 × 10-1 Па (без нагрузки)

5. Фактическое давление: ≤ 5 Па (механическая прокачка в течение 20 минут в холодных условиях)

6. Для более высоких уровней вакуума (10-5 тонн и выше) доступны отечественные или импортные высоковакуумные установки.

Размеры: 500 мм × 350 мм × 550 мм (Д × Ш × В)

Вес: около 20 кг (без вакуумного насоса и оборудования водяного охлаждения)

1. Для достижения желаемой толщины пленки требуется несколько циклов напыления.

2. Перед распылением убедитесь, что распылительная головка, мишень, подложка и предметный столик чистые.

3. Для обеспечения хорошей адгезии между пленкой и подложкой очистите поверхность подложки перед напылением.

Гарантия один год и пожизненная техническая поддержка.

Особые примечания:

1. Гарантия не распространяется на расходные материалы, такие как нагревательные элементы, кварцевые трубки и тигли для образцов.

2. Гарантия не распространяется на повреждения, вызванные использованием едких и кислотных газов.

· Давление внутри камеры не должно превышать 0,02 МПа (относительное давление).

· Поскольку внутреннее давление в газовом баллоне относительно высокое, при подаче газа в кварцевую трубку необходимо установить редукционный клапан. В целях безопасности мы рекомендуем использовать редуктор давления ниже 0,02 МПа. Для повышения точности и безопасности рекомендуем приобрести редукционный клапан нашей компании с диапазоном регулирования от 0,01 МПа до 0,1 МПа.

· Мы не рекомендуем использовать горючие, взрывоопасные или токсичные газы. Если ваш технологический процесс предполагает использование горючих, взрывоопасных или токсичных газов, пожалуйста, примите соответствующие меры защиты и взрывобезопасности. Наша компания не несет ответственности за любые проблемы, вызванные использованием горючих, взрывоопасных или токсичных газов.