Установка плазменного напыления с 3 мишенями
1. Этот плазменный распылительный аппарат с тремя вращающимися мишенями имеет компактную конструкцию, что экономит пространство в лаборатории и позволяет разместить его на рабочем столе.
2. Этот 33-мишенный плазменный распылительный аппарат оснащен панелью управления ПЛК, что делает эксплуатацию более удобной и интуитивно понятной, а также снижает экспериментальные ошибки.
3. Наша установка плазменного напыления с тремя вращающимися мишенями разработана на основе многолетнего опыта, полностью удовлетворяет потребности клиентов и обеспечивает превосходные результаты.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Внедрение установки плазменного напыления:
Установка плазменного напыления ВТК-16-3HD с тремя мишенями – это компактная система плазменного напыления тонких пленок, сертифицированная по стандарту CE, способная наносить покрытия на подложки диаметром до 5 см (2 дюйма). Установка плазменного напыления с тремя мишенями оснащена сенсорной панелью управления и может распылять мишени из трех различных материалов. Для тонких пленок время напыления может быть сокращено, для более толстых – увеличено. Установка плазменного напыления ВТК-16-D с тремя мишенями в первую очередь предназначена для получения тонких металлических пленок с рабочей зоной до 10 см (4 дюйма). Компактные размеры и высокая экономическая эффективность делают ее идеальной системой для нанесения покрытий на различные металлические тонкие пленки.
Основные характеристики установки плазменного напыления:
1. Оборудование для плазменного напыления с тремя мишенями оснащено панелью управления ПЛК, 4,3-дюймовым сенсорным экраном и ПИД-регулятором температуры.
2. Управляемые параметры установки плазменного напыления включают уровень вакуума, ток, положение мишени и температуру нагрева подложки.
3. Установка плазменного напыления может использоваться с вакуумным насосом и быстроразъемными зажимами из нержавеющей стали КФД25.
4. Установка плазменного напыления имеет сертификат CE.
Технические параметры установки плазменного напыления:
| Название продукта | Установка плазменного напыления ВТК-16-3HD с тремя мишенями | |
| Модель | ВТС-16-3HD 3 | |
| Основные параметры | 1. Входная мощность установки плазменного напыления с тремя вращающимися мишенями: переменный ток 220 В 50/60 Гц 2. Ток распыления плазменного распылителя с тремя вращающимися мишенями: 0–40 мА, регулируемый 3. Мощность: <1 кВт 4. Выходное напряжение: максимум 1680 В постоянного тока | |
| Камера напыления | 1. Материал: кварцевая камера 2. Размеры: внешний диаметр 166 мм × внутренний диаметр 150 мм × 150 мм 3. Уплотнение: уплотнительное кольцо 4. На крышке фланца установлена ручная заслонка для предварительного распыления мишени. Для подключения к впускному патрубку используется компрессионный фитинг φ 6,35 мм. Для подачи воздуха в кварцевую камеру используется ручной стравливающий клапан. 5. Сетчатый кожух из нержавеющей стали закрывает всю кварцевую камеру для защиты плазмы. |
|
6. Расход рабочего газа, поступающего в кварцевую камеру, регулируется путем регулировки микропрецизионного регулирующего клапана на правой стороне корпуса, тем самым регулируется уровень вакуума внутри камеры. 7. Ток распыления регулируется потенциометром на правой стороне корпуса.
| ||
| Цель | 1. Стандартно используются три медные мишени. 2. Размеры мишени: φ47 x (0,1-3) мм толщина. 3. Другие металлические мишени можно приобрести в нашей компании; для получения подробной информации свяжитесь с нашим отделом продаж. 4. Для предварительного распыления мишени установлена управляемая вручную перегородка. | |
| Образец этапа | 1. Вращающийся предметный столик диаметром 50 мм с винтами на опорной стойке предметного столика для регулировки высоты предметного столика. 2. Угол поворота предметного столика: 0/120/240 градусов. 3. Расстояние между мишенью и предметным столиком регулируется от 20 до 70 мм. 4. При необходимости столик для образца может быть нагрет до максимальной температуры 500 °C. |  |
| Панель управления | Интегрированная сенсорная панель управления ПЛК 1,4" управляет вакуумом, током и временем распыления образца. 2. Функция регистрации данных записывает параметры процесса, такие как вакуум, ток и время распыления для каждого цикла распыления, что упрощает клиентам доступ к данным. |  |
| Вакуумная система (опционально) | 1. Модель: ВРД-8 2. Производительность: 2,2 л/с 3. Мощность двигателя: 370 Вт 4. Предельное давление: 5 × 10-1 Па (без нагрузки). 5. Фактическое давление: ≤ 5 Па (20 минут механической прокачки в холодных условиях). |  |
6. Если вы хотите получить более высокую степень вакуума (10-5 Тур или выше), вы можете приобрести отечественные или импортные высоковакуумные установки.
| ||
| Технические характеристики | Размеры: 460 мм × 400 мм × 500 мм (Д × Ш × В) Вес: около 20 кг |  |
| Инструкции | 1. Для достижения желаемой толщины пленки требуется несколько циклов напыления. 2. Перед распылением убедитесь, что распылительная головка, мишень, образец и предметный столик чистые. 3. Для обеспечения надёжного сцепления плёнки с подложкой очистите поверхность подложки перед напылением. Для этого можно использовать наше очистное оборудование. 4. Данное оборудование может использоваться для напыления в перчаточном боксе (атмосфера Ар или N2). | |
| Меры предосторожности | 1. Давление в камере не должно превышать 0,02 МПа (относительное давление). 2. В связи с высоким давлением внутри газового баллона при подаче газа в кварцевую трубку необходимо установить редукционный клапан. В целях безопасности рекомендуется работать при давлении ниже 0,02 МПа. Для повышения точности и безопасности рекомендуем приобрести редукционный клапан нашей компании с диапазоном регулирования от 0,01 МПа до 0,1 МПа. 3. Мы не рекомендуем использовать горючие, взрывоопасные или токсичные газы. Если ваш технологический процесс предполагает использование горючих, взрывоопасных или токсичных газов, пожалуйста, примите соответствующие меры защиты и взрывобезопасности. Наша компания не несет ответственности за любые проблемы, возникшие в результате использования горючих, взрывоопасных или токсичных газов. | |
| Согласие | Сертификация CE, УЛ или CSA доступна за дополнительную плату. | |
О нас:
В то же время наша линейка продукции охватывает множество направлений лабораторного оборудования, пилы для резки и нарезки кубиками, шлифовальные и полировальные машины, плавильные системы, лабораторные печи и т. д. Для различных направлений ваших исследований у нас есть соответствующее оборудование, которое поможет вам в вашем проекте и повысит фактическую производительность и точность проекта.
Мы также предлагаем соответствующие индивидуальные услуги. Учитывая особенности каждого эксперимента, мы можем разработать дополнительные решения или рекомендации, соответствующие вашей ситуации. За подробностями обращайтесь к нашей команде.
