Плазменный очиститель с вакуумным насосом
Плазменная камера малого плазменного очистителя ПСЕ-6 представляет собой кварцевую камеру размером Ø160 мм × 190 мм. Используемая мощность ВЧ-излучения составляет 3,0 МГц (1%), а выходная мощность регулируется в трёх диапазонах: 7,2 Вт, 10,2 Вт и 29,6 Вт. Этот аппарат в основном удаляет оксидный слой и загрязнения с подложек с помощью плазмы воздуха, кислорода, аргона и других газов, а также может изменять свойства поверхности объектов (такие как гидрофильность и гидрофобность и т. д.).
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Введение в продукт
TheКомпактный плазменный очиститель ПСЕ-6Имеет кварцевую плазменную камеру размером Ø160 мм × 190 мм и оснащен ВЧ-источником питания, работающим на частоте 3,0 МГц (±1%), с тремя регулируемыми уровнями выходной мощности: 7,2 Вт, 10,2 Вт и 29,6 Вт.
Эта система использует плазму, генерируемую такими газами, как воздух, кислород или аргон, для удаления оксидов и загрязнений с подложек, а также для изменения свойств поверхности (например, гидрофильности или гидрофобности). Она идеально подходит для очистки подложек и обработки тонких плёнок.
ПСЕ-6 компактен и занимает мало места, что делает его подходящим для лабораторных условий. Он оснащен двухроторным вакуумным насосом для откачки воздуха из камеры и позволяет закачивать газы, например, аргон, что делает его особенно подходящим для очистки легко окисляющихся материалов.
Основные характеристики
1. С помощью кнопок и переключателей на панели управления можно контролировать и регулировать мощность ВЧ-излучения, открытие и закрытие вакуумного насоса, а также время очистки.
2. Время, мощность, степень вакуума и другая информация отображаются на группе из 4 цифровых трубок.
3. Оснащен трехходовым клапаном, который позволяет точно контролировать поток всасываемого воздуха и очищать камеру атмосферным воздухом. Впускной интерфейс представляет собой 6-миллиметровый разъем для картонной гильзы.
4. Для проведения экспериментов по плазменному травлению и озолению выбрано мощное ВЧ-оборудование.
ТТехнические параметры
Название продукта | Малый плазменный очиститель ПСЕ-6 |
Модель продукта | ПСЕ-6 |
Основные параметры (Спецификация) | 1. Электропитание: переменный ток 220 В 50/60 Гц 2. Выходная мощность: 7,2 Вт, 10,2 Вт, 29,6 Вт 3. Мощность вакуумного насоса: <500 Вт 4. Общая мощность: <600 Вт 5. Частота радиочастот: 3,0 МГц, мощность можно регулировать вручную на 3 уровнях. 6. Плазменная камера: камера из высокочистого кварца Ø160мм×190мм, герметично закрытая алюминиевым откидным фланцем со смотровым окном Ø45мм на фланце. 7. Вакуумный насос: 120 л/мин, двухступенчатый роторный вакуумный насос с прямым подключением 8. Предельный вакуум: 50 мторр 9. Введение газа: для создания плазмы можно вводить различные газы, например, N2, Ар, Н2, O2, воздух и газовые смеси (выбранные в соответствии со свойствами материала) для очистки и травления |
Размеры и вес продукта | Размеры: 400мм×300мм×300мм Ввосемь:10,2 кг |
Дополнительные аксессуары
| Нет. | Имя | Категория функции | Изображение |
| 1 | 2"-6" Кварцевая лодочка/носитель (для удержания субстрата) | Необязательный | - |
| 2 | 2-4-канальная система смешивания протонов или поплавкового газа | Необязательный | - |
Гарантия
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
