Плазменный очиститель с вакуумным насосом
бренд Shenyang Kejing
происхождение продукта Шэньян, Китай
время доставки 10 рабочих дней
производственно - сбытового потенциала 50 комплектов
Плазменная камера малого плазмоочистителя ПСЕ-6 представляет собой кварцевую камеру Ø160мм×190мм. Используемая радиочастотная мощность составляет 3,0 МГц (1%), а выходная мощность регулируется на трех уровнях: 7,2 Вт, 10,2 Вт и 29,6 Вт. Эта машина в основном удаляет оксидный слой и загрязнения на подложках с помощью плазмы воздуха, кислорода или аргона и других газов, а также может изменять свойства поверхности объектов (такие как гидрофильность и гидрофобность и т. д.).
Основные характеристики
1. С помощью кнопок и переключателей на панели управления можно контролировать и регулировать мощность радиочастоты, открытие и закрытие вакуумного насоса, а также время очистки.
2. Время, мощность, степень вакуума и другая информация отображаются на группе из 4 цифровых трубок.
3. Оснащен трехходовым клапаном, который может точно регулировать поток всасываемого воздуха и очищать камеру атмосферным воздухом. Входной интерфейс представляет собой 6-миллиметровый интерфейс для карты.
4. Для проведения экспериментов по плазменному травлению и озолению выбрано мощное ВЧ-питание.
Ттехнические параметры
наименование товара | Малый плазменный очиститель PCE-6 |
Модель продукта | ПКЭ-6 |
Основные параметры (Спецификация) | 1. Источник питания: 220 В переменного тока, 50/60 Гц. 2. Выходная мощность: 7,2 Вт, 10,2 Вт, 29,6 Вт 3. Мощность вакуумного насоса: <500 Вт 4. Общая мощность: <600 Вт 5. Частота RF: 3,0 МГц, мощность можно регулировать вручную на 3 уровнях. 6. Плазмокамера: камера из высокочистого кварца Ø160мм×190мм, герметизированная алюминиевым фальцевым фланцем со смотровым окном Ø45мм на фланце 7. Вакуумный насос: 120 л/мин, двухступенчатый роторный вакуумный насос с прямым подключением. 8. Предельный вакуум: 50 мторр 9. Введение газа: для создания плазмы можно вводить различные газы, такие как N2, Ар, Н2, O2, воздух и смешанные газы (выбранные в зависимости от свойств материала) для очистки и травления |
Размер и вес продукта | Размер: 400мм×300мм×300мм Ввосемь:10,2 кг
|
дополнительные аксессуары | 1. 2"-6"Кварцевая лодка/перевозчик (для удержания подложки) 2. 2-4-канальная протонная или поплавковая система смешивания газов |
Гарантия
Ограничение на один год с пожизненной поддержкой (не включая заржавевшие детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
