Плазменный очиститель с вакуумным насосом
Плазменная камера малого плазмоочистителя ПКЭ-6 представляет собой кварцевую камеру Ø160×190 мм. Используемая радиочастотная мощность составляет 3,0 МГц (1%), а выходная мощность регулируется на трех уровнях: 7,2 Вт, 10,2 Вт и 29,6 Вт. Эта машина в основном удаляет оксидный слой и загрязнения с подложек посредством плазмы воздуха, кислорода или аргона и других газов, а также может изменять свойства поверхности объектов (например, гидрофильность и гидрофобность и т. д.).
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Основные характеристики
1. С помощью кнопок и переключателей панели управления можно контролировать и регулировать мощность РФ, открытие и закрытие вакуумного насоса, а также время очистки.
2. Время, мощность, степень вакуума и другая информация отображаются на группе из 4 цифровых трубок.
3. Оснащен трехходовым клапаном, который позволяет точно контролировать поток всасываемого воздуха и очищать камеру атмосферным воздухом. Входной интерфейс представляет собой интерфейс для карточек толщиной 6 мм.
4. Для проведения экспериментов по плазменному травлению и озолению выбрано высокочастотное оборудование источника питания большой мощности.
ТТехнические параметры
наименование товара | Малый плазменный очиститель ПКЭ-6 |
Модель продукта | ПКЭ-6 |
Основные параметры (Спецификация) | 1. Источник питания: 220 В переменного тока, 50/60 Гц. 2. Выходная мощность: 7,2 Вт, 10,2 Вт, 29,6 Вт. 3. Мощность вакуумного насоса: &лт;500 Вт. 4. Общая мощность: &лт;600 Вт. 5. Частота РФ: 3,0 МГц, мощность можно регулировать вручную на 3 уровнях. 6. Плазменная камера: кварцевая камера высокой чистоты Ø160мм×190мм, герметичная алюминиевым фальцевым фланцем со смотровым окном Ø45мм на фланце. 7. Вакуумный насос: 120 л/мин, двухступенчатый ротационный вакуумный насос с прямым подключением. 8. Предельный вакуум: 50 мторр. 9. Введение газа. Для создания плазмы можно использовать различные газы, например N.2, Ар, Ч2, O2, Воздух и газовые смеси (выбираются в зависимости от свойств материала) для очистки и травления. |
Размер и вес продукта | Размер: 400мм×300мм×300мм Ввосемь:10,2 кг
|
дополнительные аксессуары | 1. 2"-6"Кварцевая лодочка/носитель (для хранения субстрата) 2. 2-4-канальная система смешивания протонов или поплавковых газов. |
Гарантия
Ограничение на один год с пожизненной поддержкой (не включая заржавевшие детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
