Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления

1. Установка для нанесения покрытий методом вакуумного магнетронного распыления может использовать вакуумную камеру распыления большой емкости и соответствующую площадь распыляемой мишени в соответствии с характеристиками ионизации газа в электрическом поле, чтобы сделать напыляемое покрытие более равномерным и чистым. 2. Распылительная головка вакуумной магнетронной распылительной машины использует технологию охлаждения Пельтье для получения высокопроизводительных мелкодисперсных покрытий. 3. Установка для нанесения покрытий методом вакуумного магнетронного распыления может использовать распылительную головку с водяным охлаждением и столик с водяным охлаждением.