Установка плазменного напыления с 3 источниками распыления

Устройство для нанесения магнетронного напыления с тремя головками ВТЦ-600-3HD — это оборудование для нанесения покрытий, недавно разработанное нашей компанией, которое используется для изготовления однослойных или многослойных ферроэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок. , оптическая пленка, оксидная пленка, твердая пленка, пленка из ПТФЭ и т. д. Трехголовочная установка для магнетронного распыления ВТЦ-600-3HD оснащена тремя целевыми пистолетами, одним источником радиочастотного питания для распыления покрытия непроводящих материалов и двумя источниками постоянного тока. расходные материалы для напыления токопроводящих материалов.