Развитие технологии химико-механической полировки
С быстрым развитием полупроводниковой промышленности размеры электронных устройств продолжают уменьшаться, а требования к плоскостности поверхности пластины становятся все более строгими. Особенно в современном процессе производства интегральных схем, поверхность пластины должна быть выровнена на уровне нанометров, и традиционная технология локального выравнивания больше не может удовлетворить это требование. Однако наш УМИПОЛ-1203химико-механическая полировальная машинав настоящее время может достичь глобального выравнивания.
Технология химико-механической полировки появилась в 1990-х годах и стала неотъемлемой частью процесса производства сверхбольших интегральных схем (СБИС). По сравнению с традиционными локальными процессами планаризации, такими как метод термического потока, метод спиннинг-стекла и селективное осаждение, УНИПОЛ-1203химико-механическая полировальная машинапозволяет не только достичь полной планаризации, но и обладает такими преимуществами, как простота процесса, высокая эффективность и низкая стоимость.Химико-механическая полировальная машинашироко используется в графической обработке кремниевых пластин.
Шэньян Кэцзинполностью автоматическая химико-механическая полировальная машина может не только обеспечить высокоточную планаризацию кремниевых пластин, но и широко используется при прецизионной шлифовке и полировке керамических и металлических материалов. Антикоррозионные материалы, используемые вполностью автоматическая химико-механическая полировальная машинаможет эффективно работать даже при наличии едкой шлифовальной жидкости, что значительно повышает долговечность и адаптивность оборудования.
Основные особенности и технические преимущества химико-механического шлифовально-полировального станка:
1. Высокоточная плющильная обработка:Химико-механическая шлифовальная и полировальная машинаАвтоматическая химико-механическая полировальная машина оснащена сверхплоским полировальным диском из нержавеющей стали и сверхточной вращающейся осью, что позволяет контролировать плоскостность поверхности на уровне нанометров.
2. Автоматизированное проектирование:Химико-механическая шлифовальная и полировальная машинаимеет полностью автоматический сенсорный экран управления, который позволяет устанавливать скорость шпинделя, скорость поворотного рычага, а также время шлифования и полировки, поддерживает многозадачность и дополнительно повышает эффективность обработки.
3. Коррозионностойкая конструкция: шлифовальная частьмашина для химической и механической полировки автомобилейизготовлен из химически стойких к коррозии материалов, которые могут выдерживать коррозию, вызываемую различными химическими полирующими жидкостями, и подходят для широкого спектра задач шлифования материалов.
Машина для химической и механической полировки автомобилейобеспечивает эффективные и точные методы обработки выравнивания для предприятий полупроводниковой промышленности, точного производства и материаловедения. Кроме того, наша продукция экспортируется в Японию, Россию, Европу и другие страны и регионы, и была хорошо принята клиентами. Добро пожаловать в нашу компанию или отправьте нам свои потребности, мы станем вашим надежным партнером!