Развитие технологии химико-механической полировки
С быстрым развитием полупроводниковой промышленности размеры электронных устройств продолжают уменьшаться, а требования к плоскостности поверхности пластин становятся все более строгими. Особенно в современном процессе производства интегральных схем поверхность пластины необходимо выравнивать на нанометровом уровне, и традиционная локальная технология выравнивания больше не может удовлетворить этот спрос. Однако наш УМИПОЛ-1203химико-механическая полировальная машинав настоящее время может достичь глобального выравнивания.
Технология химико-механической полировки появилась в 1990-х годах и стала неотъемлемой частью процесса производства сверхбольших интегральных схем (СБИС). По сравнению с традиционными процессами локальной планаризации, такими как метод термического потока, метод вращающегося стекла и селективное осаждение, УНИПОЛ-1203химико-механическая полировальная машинаможет не только достичь комплексной планаризации, но также имеет такие преимущества, как простота процесса, высокая эффективность и низкая стоимость.Химико-механическая полировальная машинашироко используется при обработке графики на кремниевых пластинах.
Шэньян Кэцзинполностью автоматическая химико-механическая полировальная машина может не только обеспечить высокоточную планаризацию кремниевых пластин, но также широко используется при точном шлифовании и полировке керамических и металлических материалов. Антикоррозионные материалы, используемые вполностью автоматическая химико-механическая полировальная машинаможет работать эффективно, даже если шлифовальная жидкость агрессивна, что значительно повышает долговечность и адаптируемость оборудования.
Основные характеристики и технические преимущества химико-механического шлифовально-полировального станка:
1. Высокоточная правка:Химико-механический шлифовально-полировальный станокоснащен ультраплоским полировальным диском из нержавеющей стали и сверхточной вращающейся осью. Автоматическая химико-механическая полировальная машина может контролировать плоскостность поверхности на нанометровом уровне.
2. Автоматизированное проектирование:Химико-механический шлифовально-полировальный станокимеет полностью автоматический сенсорный экран управления, который может устанавливать скорость шпинделя, скорость поворотного рычага, а также время шлифовки и полировки, поддерживать многозадачную работу и еще больше повышать эффективность обработки.
3. Коррозионностойкая конструкция: шлифовальная частьавтохимическая механическая полировальная машинаизготовлен из материалов, устойчивых к химической коррозии, которые могут противостоять коррозии различных химических полирующих жидкостей и адаптироваться к широкому спектру потребностей в шлифовании материалов.
Автохимическая механическая полировальная машинапредоставляет эффективные и точные методы обработки правки для предприятий полупроводниковой промышленности, точного производства и материаловедения. Кроме того, наша продукция экспортируется в Японию, Россию, Европу и другие страны и регионы и была хорошо принята клиентами. Добро пожаловать в нашу компанию или пришлите нам свои пожелания, мы станем вашим надежным партнером!