
- дома
- >
Hовости
На основе базового магнетронного распыления вводятся среда высокого вакуума и роста высокой температуры, а плазменная технология объединяется для повышения эффективности реакции реактивного осаждения, чтобы реализовать эпитаксию пленки магнетронного распыления. Пленка, полученная в условиях высокого вакуума, имеет лучшую ориентацию решетки и более выдающиеся кристаллические свойства. Она имеет широкий спектр применения в сверхпроводящих квантовых, сегнетоэлектрических материалах, пьезоэлектрических материалах, термоэлектрических материалах и других областях. Состояние высокого вакуума помогает уменьшить влияние примесей и гарантировать, что распыленные частицы не будут реагировать неблагоприятно с другими газами во время процесса осаждения.