Внутренняя страница

Hовости

Применение центрифугирования в процессе фотолитографии полупроводников

Дегуммирование: Используя распылительную центрифужную установку VTC-200-4P для мокрого процесса дегуммирования, органический растворитель капает на фоторезистивную пленку на поверхности рисунка, так что фоторезистивная пленка растворяется и удаляется, оставляя чистый рисунок. Оборудование для нанесения покрытия, доступное для нанесения покрытия, включает вакуумную центрифужную установку VTC-100PA, вакуумную центрифужную установку с подогревом верхней крышки VTC-100PA-Ⅰ, вакуумную центрифужную установку VTC-100, вакуумную центрифужную установку VTC-200, вакуумную ротационную машину для нанесения покрытия VTC-200PV, распылительную ротационную машину для нанесения покрытия VTC-200-4P и ультрафиолетовую центрифужную установку VTC-100PA-UV. Различные центрифужные установки могут быть выбраны в соответствии с конкретным процессом.

2025/06/16
Читать Далее
Получить последнюю цену? Мы ответим как можно скорее (в течение 12 часов)
This field is required
This field is required
Required and valid email address
This field is required
This field is required
For a better browsing experience, we recommend that you use Chrome, Firefox, Safari and Edge browsers.