Система сферического импульсного лазерного осаждения

Условия установки

1. Температура окружающей среды: 10℃～35℃.

2. Относительная влажность: не более 75%.

3. Электропитание: 220 В, однофазное, 50±0,5 Гц.

4. Мощность оборудования: менее 4 кВт.

5. Водоснабжение: давление воды 0,2–0,4 МПа, температура воды 15–25 ℃,

6. Окружающая среда оборудования должна быть аккуратной, воздух должен быть чистым, не должно быть пыли или газа, которые могут вызвать коррозию электроприборов или других металлических поверхностей или вызвать проводимость между металлами.

Основные параметры

(Спецификация)

1. Система имеет сферическую структуру и переднюю дверь с ручным управлением.

2. Все компоненты и аксессуары вакуумной камеры изготовлены из высококачественной нержавеющей стали (304), аргонодуговой сварки, а поверхность обработана струйной обработкой стекла, электрохимической полировкой и пассивацией.

3. Вакуумная камера оснащена окном визуального наблюдения. Эффективный размер вакуумной камеры составляет 300 мм.

4. Предел степени вакуума: ≤6,67×10.^-5Па (после обжига и дегазации используйте молекулярный насос производительностью 600 л/с для перекачки воздуха и используйте 8 л/с для передней ступени);

Скорость утечки системы обнаружения утечек вакуума: ≤5,0×10^-7Па.Л/С; 

Система начинает откачивать воздух из атмосферы до 8,0х10.^-4Па, до которого можно добраться за 40 минут; 

степень вакуума после остановки насоса на 12 часов: ≤20 Па

5. Этап образца: размер образца составляет φ40 мм, скорость вращения составляет 1–20 об/мин, а расстояние между этапом подложки и целью вращения составляет 40–90 мм.

6. Максимальная температура нагрева образца: 800 ℃, точность контроля температуры: ± 1 ℃, для контроля температуры используется измеритель контроля температуры.

7. Вращающаяся мишень с четырьмя станциями: каждая целевая позиция имеет диаметр 40 мм, на перегородке/затворе отображается только одна целевая позиция, лазерный луч должен поразить верхнюю целевую позицию, а вращающаяся мишень имеет функции вращения и авторотации.

8. В вакуумной камере установлены устройства выпечки, освещения и сигнализации давления воды.

9. Односторонний массовый расходомер МФЦ (для контроля всасываемого воздуха): 0-100sccm.