Высокоскоростной центробежный напылитель (10 тыс. об/мин и макс. 5 дюймов) с УФ-защитой
УФ-центрифужный коутер ВТК-100PA-УФ подходит для нанесения покрытий на полупроводники, кристаллы, оптические диски, пластины и т.д. Верхняя крышка оснащена источником УФ-излучения и особенно подходит для материалов, чувствительных к УФ-излучению, которое обеспечивает быстрое отверждение покрытой пленки. Кроме того, УФ-лампа выполняет функцию полимеризации мономера в полимерную пленку.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Введение в продукт
Установка для нанесения покрытия центрифугированием ВТК-100PA-УФ (также известная как установка для нанесения покрытия фоторезистом, установка для нанесения покрытия центрифугированием или система нанесения покрытия центрифугированием) предназначена для таких процессов, как изготовление полупроводников, кристаллов, оптических дисков, литография и покрытие поверхностей.
Камера изготовлена из полипропилена, обеспечивающего отличную коррозионную стойкость и длительный срок службы, и подходит для нанесения покрытий с использованием концентрированных растворов кислот и щелочей. Верхняя крышка оснащена функцией УФ-облучения, что делает её особенно подходящей для УФ-чувствительных резистов. Она обеспечивает быстрое отверждение обработанных резистов и поддерживает полимеризацию, превращая мономеры в полимерные плёнки.
В центре верхней крышки расположено отверстие для впрыска жидкости, оснащённое заглушкой; при необходимости обеспечения герметичности камеры заглушку следует установить. В камере также имеется газовпускное отверстие для подачи защитного газа в процессе центрифугирования.
Образцы фиксируются методом вакуумной адсорбции, что обеспечивает простоту эксплуатации и удобство загрузки/выгрузки. Специальный центрирующий инструмент позволяет точно разместить образцы в центре держателя, снижая эксцентрическую вибрацию и предотвращая разрушение пластины. Различные держатели можно выбирать в зависимости от размера образца, а их замена проста и удобна.
Система приводится в действие прецизионным бесщеточным двигателем постоянного тока, который обеспечивает быстрый запуск, стабильную скорость, а также гарантирует постоянство и однородность толщины покрытия.
Основные характеристики
1. Образец фиксируется с помощью вакуумной адсорбции, которая проста в эксплуатации и удобна для взятия и размещения образцов, которую можно настраивать по мере необходимости.
2. Верхняя крышка оснащена источником УФ-излучения, интенсивность которого можно регулировать в определенном диапазоне.
3. Отверстие для впрыска расположено в центре верхней крышки и снабжено резиновой заглушкой, которая применяется в случае, когда для камеры требуется герметичность.
4. Газовпускное отверстие в камере используется для подключения к защитному газу.
5. Двигатель и блок управления УФ-лампой управляются независимо. Система регулирования скорости двигателя управляется одноплатным компьютером с ЖК-дисплеем, а цифровой дисплей интуитивно понятен и надежен. УФ-лампой управляет ПЛК с высокой помехозащищенностью.
6. Скорость нанесения покрытия в данной машине составляет от 500 до 1000 об/мин. Можно сохранить 12 групп программ, каждая группа программ содержит 6 рабочих этапов, а рабочие параметры каждого этапа можно устанавливать независимо, чтобы скорость постепенно увеличивалась до предела, что способствует формированию равномерной пленки на поверхности образца и не приводит к большим потерям.
7. Установка для вакуумного УФ-нанесения покрытия запускается быстро и имеет стабильную скорость вращения, что обеспечивает равномерность и постоянство толщины пленки.
8. В конструкции установки приняты меры по амортизации для снижения шума во время работы.
9. Камера изготовлена из полипропилена с длительным сроком службы, что повышает устойчивость к химической коррозии и трещинам под напряжением, а корпус машины изготовлен из литого алюминия, который отличается прочностью и малым весом.
ТТехнические параметры
Название продукта | ВТК-100PA-УФ УФ-центрифужный аппарат | |
Модель продукта | ВТК-100PA-УФ | |
Условия установки | 1. Температура и влажность: 10–85% относительной влажности (при 25 ℃ без конденсации). Температура: 0–45 ℃. 2. Рядом с оборудованием отсутствуют источники сильной вибрации и едкие газы. 3. Вода: Не нужна. 4. Электричество: Однофазное: AC220V 50Hz 10A. 5. Газ: Вакуумное отрицательное давление (вакуумный насос). Расход воздуха не менее 70 л/мин (оборудование может пропускать защитный инертный газ). 6. Рабочий стол: рекомендуется размер 800 мм×600.мм×700 мм и выдерживать нагрузку более 50 кг (лучше использовать платформу из цельного цемента). 7. Вентиляционное устройство: Особых требований нет. | |
| Основные параметры | 1. Интерфейс электропитания: розетка со страховкой: переменный ток 220 В, 50 Гц, спецификация страховочной трубки — 10 А, φ5×20 мм (это устройство поддерживает настройку продукта на переменный ток 110 В, 50/60 Гц). 2. Общая мощность: ≤180 Вт (без учета внешнего вакуумного насоса). 3. Покрытие полости хозяина (материал): полипропилен. 4. Лоток для образцов (присоска): полипропиленовая присоска Φ19 мм, Φ60 мм каждая. 5. Режим работы: можно сохранить 12 наборов программ, каждый набор программ содержит 6 этапов работы. 6. Скорость нанесения покрытия: эффективная скорость 500–10000 об/мин. 7. Скорость ускорения и замедления: Диапазон настройки каждой скорости ускорения и замедления составляет 100–2000 об/мин. 8. Время нанесения покрытия: Каждый временной диапазон: 0-60 с. 9. Стабильность скорости: ±1%. 10. Режим управления хостом: однокристальный микрокомпьютер на печатной плате с ключом управления ЛМК ЖК-дисплей дисплеем. 11. Метод отверждения: 16 светодиодных фиолетовых шариков. 12. Время отверждения: диапазон установки времени фиолетового света: 1-800 с. 13. Мощность отверждения: диапазон мощности фиолетового света: регулируемый 5-30 Вт. 14. Метод управления отверждением: сенсорный экран (независимое управление системой фиолетового света, не связанное с управлением хоста). | |
· Размеры: 450мм×280мм×340мм · Вес: 18 кг |
| |
Стандартные аксессуары
| Нет. | Имя | Количество | Ссылка на изображение |
| 1 | Вакуумная присоска (с уплотнительным кольцом) (Ø19 мм и Ø60 мм) | 2 |   |
| 2 | Центр локатора | 1 |  |
| 3 | Безмасляный вакуумный насос | 1 |  |
Дополнительные аксессуары
| Нет. | Имя | Функциональная категория | Ссылка на изображение |
| 1 | Другие размеры вакуумных присосок | (Необязательный) |  |
| 2 | Бытовой пистолет-пипетка | (Необязательный) |  |
| 3 | Импортная пипетка | (Необязательный) |  |
Гарантия
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
