Толщиномер пленки EQ-TM106
1. Этот лабораторный прибор для контроля толщины покрытий представляет собой высокоточный кварцевый микробаланс (QCM) для мониторинга толщины пленок, полученных методами молекулярно-пучковой эпитаксии (MBE), органического светодиодного освещения (OLED) и магнетронного распыления. Он гарантирует соответствие толщины покрытия экспериментальным требованиям.
2. Оборудование также оснащено функцией управления скоростью в реальном времени, разрешением 0,0136 Å и возможностью экспорта данных на ПК.
3. Оборудование поставляется с выделенной предпродажной и послепродажной поддержкой. В случае возникновения каких-либо неисправностей оборудования или повреждения компонентов, пожалуйста, немедленно свяжитесь с нами; мы предоставляем соответствующее гарантийное обслуживание сроком на один год (распространяется на проблемы, не вызванные действиями человека).
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Введение в прибор для измерения толщины пленки при подготовке образца:
Прибор для измерения толщины пленки EQ-TM106 использует принцип колебаний кварцевого кристалла в сочетании с передовой технологией измерения частоты для мониторинга толщины пленки в режиме реального времени. Он в основном применяется в процессах осаждения тонких пленок, таких как молекулярно-пучковая эпитаксия (МБЭ), термическое испарение OLED-дисплеев и магнетронное распыление, для обеспечения непрерывного мониторинга как толщины пленочного слоя, так и скорости осаждения.
На основе данных о скорости осаждения тонкой пленки в реальном времени монитор EQ-TM106 генерирует аналоговый выходной сигнал ШИМ (широтно-импульсной модуляции). Функционируя как специализированный датчик толщины, он интегрируется с внешними контроллерами и источниками питания для испарения, обеспечивая замкнутый контур управления скоростью испарения и, таким образом, позволяя точно измерять толщину осажденной пленки.
Измеритель толщины пленки EQ-TM106 отличается компактной конструкцией, позволяющей экономить место в лаборатории; кроме того, простой принцип работы и удобный интерфейс делают его особенно подходящим для использования в лабораторных условиях при осаждении тонких пленок.
Технические характеристики изделия:
| Название продукта | Толщиномер пленки EQ-TM106 | ||
| Модель продукта | EQ-TM106 | ||
| Технические характеристики | Модуль мониторинга EQ-TM106-1 1. Источник питания: DC 5V (±10%), максимальный ток 400 мА. 2. Разрешение по частоте: ±0,03 Гц 3. Разрешение по толщине пленки: 0,0136 Å (алюминий) 4. Точность измерения толщины пленки: ±0,5% (зависит от условий процесса, в частности, от положения датчика, напряжения в материале, температуры и плотности). 5. Скорость измерения: 100 мс – 1 с на измерение (настраивается) 6. Диапазон измерения: 500 000 Å (алюминий). 7. Стандартный кварцевый резонатор датчика: 6 МГц 8. Компьютерный интерфейс: последовательный интерфейс RS-232/485 (настраиваемые скорости передачи данных: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; биты данных: 8; стоповые биты: 1; четность: отсутствует) 9. Аналоговый выход: 8-битное разрешение, ШИМ (широтно-импульсная модуляция) выход (с открытым коллектором или внутренний выход 5 В). 10. Условия эксплуатации: температура 0–50 °C; влажность 5–85% относительной влажности (без конденсации). 11. Размеры: 90 мм × 50 мм × 18 мм | ||
Дисплей EQ-TM106-2 1. Входное напряжение: переменный ток 220 В ±10% 2. Выходная мощность: DC 5V 3A 3. Дисплей: 12×2 цифровых трубок и светодиодов. 4. Коммуникационный порт: RS-485 (Выбираемые скорости передачи данных: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; Биты данных: 8; Стоповые биты: 1; Четность: отсутствует) 5. Габариты: 182 мм × 65 мм × 160 мм | |||
Зонд EQ-TM106-3 1. Совместимая частота кварцевого резонатора: 6 МГц 2. Совместимый размер кристалла: Ø14 мм 3. Монтажный фланец: CF35 4. Трубки для охлаждающей воды: Ø3 мм; Длина: 300 мм, 500 мм, 1000 мм 5. Давление охлаждающей воды: <0,3 МПа 6. Трубка для пневматических затворов: Ø3 мм 7. Давление сжатого воздуха: <0,8 МПа, сссшч0,5 МПа. 8. Температура обжига: <200°C (при наличии потока воды); температура фланца <100°C (без потока воды) 9. Электрический интерфейс: разъем BNC | |||
| Стандартные аксессуары | 1 | Модуль мониторинга EQ-TM106-1 | 1 единица |
| 2 | Дисплей EQ-TM106-2 | 1 единица | |
| 3 | Зонд EQ-TM106-3 | 1 единица | |
Основные характеристики монитора осаждения тонких пленок:
1. Данное устройство можно подключить к компьютеру.
2. Блок отображения имеет чистый, интуитивно понятный и хорошо организованный интерфейс, обеспечивающий удобную и быструю работу. Он обеспечивает визуальное отображение рабочих параметров в реальном времени, включая измеренную толщину пленки, скорость осаждения, частоту и процент выходного сигнала ШИМ-управления.
3. С помощью программного обеспечения или дисплея пользователи могут настраивать различные параметры, такие как время импульса, режим вывода, алгоритм скорости, параметры материала, диапазон выходного сигнала и параметры связи, а также экспортировать соответствующие измеренные данные непосредственно в файл Excel.
4. Устройство отличается компактными размерами, высокой точностью измерений, простотой в эксплуатации и удобством использования.
Почему стоит выбрать Шэньян Кэцзин?
При инвестировании в высокоточное оборудование для материаловедения вам нужен не просто поставщик — вам нужен надежный технологический партнер.
• Подтвержденный опыт:Компания Shenyang Kejing, являясь ведущим производителем автоматизированного оборудования, предлагает научно-исследовательские решения промышленного класса, которым доверяют лаборатории по всему миру.
• Опыт работы в открытой лаборатории:Мы не просто продаем оборудование; мы доказываем его возможности. Мы предлагаем предпродажное тестирование продукции и техническое обучение в нашей специализированной открытой лаборатории.
• Широкие возможности индивидуальной настройки:Нужны специфические модификации? Мы предлагаем сотрудничество с другими лабораториями, партнерство в проектах и изготовление оборудования на заказ в соответствии с вашими точными научными требованиями.
· Комплексная поддержка:От тестирования технологических процессов до поддержки коммерциализации патентов — наша команда преданных своему делу инженеров гарантирует качество каждого продукта, который мы производим.
