Антикоррозионная центрифуга для нанесения покрытий (6 тыс. об/мин и макс. размер пластины 6 дюймов)
Вакуумный центрифужный коатер ВТК-200P подходит для нанесения покрытий на полупроводники, кристаллы, оптические диски, пластины и т.д. В памяти устройства хранится 12 наборов программ, каждый из которых содержит 6 рабочих этапов. Верхняя крышка камеры может нагревать образец (опциональная функция), что полезно для нанесения покрытий на тонкоплёночные материалы с высокой вязкостью.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Введение в продукт
Вакуумный центрифужный коатер ВТК-200P предназначен для нанесения покрытий на поверхность полупроводников, кристаллов, оптических дисков, в литографии и смежных областях. Он подходит для нанесения покрытий с использованием концентрированных кислот или щелочей.
Камеру невозможно вакуумировать; вместо этого во время работы образец фиксируется на держателе подложки с помощью вакуумного захвата. Система может хранить до 12 программ, каждая из которых содержит 6 последовательных этапов. Для каждого этапа можно задать различную скорость вращения, что позволяет напылителю постепенно разгоняться до максимальной скорости. Это обеспечивает равномерное формирование тонкой плёнки на поверхности образца и минимизирует отходы материала.
Верхняя крышка камеры опционально может быть оснащена функцией подогрева, что облегчает нанесение покрытий на высоковязкие пленочные материалы.
Благодаря таким преимуществам, как простота эксплуатации, удобство очистки и компактная конструкция, вакуумный центрифужный коатер ВТК-200P широко используется в лабораториях университетов и научно-исследовательских институтов для приготовления тонких пленок.
Основные характеристики
1. Оборудование может хранить 12 наборов программ, каждый из которых содержит 6 рабочих этапов. Диапазон настройки скорости ускорения и замедления для каждого этапа: 100–2000 об/мин/с, временной диапазон для каждого этапа: 0–60 с.
2. Образец фиксируется методом вакуумной адсорбции, который прост в эксплуатации.
3. Степень вакуума может достигать -0,08МПа.
4. Образцы можно легко центрировать с помощью позиционирующего инструмента, чтобы уменьшить вибрацию или вылет, вызванные несоосностью.
5. В соответствии со спецификациями образца можно использовать различные патроны, а их замена удобна и проста.
6. Используется бесщеточный двигатель постоянного тока напряжением 24 В, который обладает такими преимуществами, как высокая надежность, высокая приспособляемость, простота ремонта и обслуживания, низкий уровень шума, небольшая вибрация, стабильная работа, быстрый и стабильный запуск, стабильная работа после ускорения, что обеспечивает постоянство и однородность толщины покрытия.
7. Данную машину можно использовать в боксе, но блок управления и вакуумный насос следует разместить вне бокса.
8. Нанесение покрытия можно осуществлять в атмосфере инертного газа (например, Ар, N2).
9. Безмасляный вакуумный насос с параллельными стержнями имеет такие преимущества, как небольшой размер, простая конструкция, легкость в эксплуатации, удобство обслуживания и отсутствие загрязнения окружающей среды.
10. Камера изготовлена из полипропилена с длительным сроком службы, что повышает устойчивость к химической коррозии и трещинам под напряжением, а корпус машины изготовлен из литого алюминия, который отличается прочностью и малым весом.
11. Английская операционная система
12. Функция защиты от открытия крышки. При открытии верхней крышки во время или по окончании процесса нанесения покрытия машина немедленно резко замедляется до полной остановки.
13. Контроллер оснащен единым блоком управления с ЖК-дисплеем, который более интуитивен и надежен.
ТТехнические параметры
Название продукта | Вакуумный центрифужный напылитель ВТК-200P | |
Модель продукта | ВТС-200П | |
Условия установки | 1. Температура и влажность: 10–85% относительной влажности (при 25℃, без конденсации); Температура: 0–45℃. 2. Окружающая среда: вблизи оборудования не должно быть источников сильной вибрации или едких газов. 3. Вода: Оборудование оснащено сливным отверстием. 4. Электропитание: однофазное переменный ток 220 В, 50 Гц 10 А. 5. Подача воздуха: вакуумный насос с производительностью ≥ 70 л/мин. Система также может быть подключена к системе защитного инертного газа. 6. Рабочий стол: рекомендуемые размеры 800 мм × 600 мм × 700 мм, грузоподъемность ≥ 100 кг (предпочтительно использовать цельный бетонный стол). 7. Вентиляция: Особых требований нет. | |
Основные параметры (Спецификация) | 1. Интерфейс источника питания: Розетка с предохранителем: переменный ток 220 В, 50 Гц; Характеристики предохранителя: 10 А, φ5×20 мм (доступна настройка на переменный ток 110 В, 50/60 Гц). 2. Общая мощность: ≤150 Вт (без учета внешнего вакуумного насоса). 3. Основная камера (Материал): Полипропилен. 4. Держатель подложки (вакуумный зажим): полипропиленовый вакуумный зажим диаметром 100 мм ×1 (из ПТФЭ при наличии функции нагрева). 5. Режим работы: возможность сохранения 12 программ, каждая из которых состоит из 6 последовательных этапов. 6. Скорость отжима: 500–6000 об/мин. 7. Скорость ускорения/замедления: Регулируемый диапазон на каждую ступень: 100–2000 об/мин. 8. Время нанесения покрытия: Регулируемый диапазон для каждого этапа: 0 – 60 с. 9. Стабильность скорости: ±1%. 10. Система управления: микроконтроллер на печатной плате с клавиатурой и ЖК-дисплеем ЛМК. 11. Способ нагрева: не входит в стандартную комплектацию (доступна дополнительная функция нагрева с независимой системой контроля температуры, не интегрированной с основным контроллером). 12. Температура нагрева: настраиваемый диапазон температур, РТ – 100℃ (верхний предел). 13. Мощность нагрева: AC220V, 1000W. 14. Точность контроля температуры: ±2℃. | |
15. Технические характеристики продукта: · Измерение: · Основной блок：φ250мм×360мм · Блок управления: 330 мм × 380 мм × 150 мм · Вес: 15 кг |
| |
Сстандартные аксессуары
Нет. | имя | кол-во | картина |
1 | Вакуумный зажимной патрон (φ100 мм) | 1 шт. | |
2 | Уплотнительное кольцо | 1 шт. | - |
3 | Центральный позиционер/локатор (включая 4 позиционирующих штифта) | 1 шт. |
|
4 | Инжектор/шприц для эпоксидной смолы (20 мл) | 1 шт. |
|
5 | Кронштейн для инжектора/шприца | 1 шт. | - |
6 | Безмасляный вакуумный насос | 1 шт. |
|
ТОдополнительные аксессуары
Нет. | имя | функциональный тип | картина |
1 | Вакуумный патрон других спецификаций | (необязательный) | |
2 | Пипетка (сделано в Китае) | (необязательный) | |
3 | Пипетка (импортная) | (необязательный) |
|
Гарантия
· Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
