Центробежная установка с вакуумным и атмосферным контролем

Введение в продукт

Вакуумный центрифужный коатер ВТК-200PV предназначен для нанесения покрытий на поверхности полупроводников, кристаллов, оптических дисков, в литографии и смежных областях. Он подходит для нанесения покрытий на основе концентрированных кислот и щелочей.

Эта система позволяет вакуумировать камеру нанесения покрытия, что позволяет наносить покрытия на образцы в условиях полного вакуума. Эта функция особенно подходит для тонкоплёночных материалов, склонных к окислению или деградации на воздухе. Во время работы в вакууме образцы фиксируются с помощью держателя образца.

При отсутствии вакуумной откачки образцы удерживаются на держателе подложки с помощью вакуумной адсорбции. Система может хранить до 12 программ, каждая из которых содержит 6 последовательных этапов. Для каждого этапа можно задать различную скорость вращения, что позволяет напылителю постепенно разгоняться до максимальной скорости. Это обеспечивает равномерное формирование тонкой плёнки на поверхности образца и минимизирует отходы материала.

Благодаря таким преимуществам, как простота эксплуатации, удобство очистки и компактная конструкция, вакуумный центрифужный коатер ВТК-200PV широко используется в лабораториях университетов и научно-исследовательских институтов для приготовления тонких пленок.

Основные характеристики

1. Оборудование может хранить 12 наборов программ, каждый из которых содержит 6 рабочих этапов. Диапазон настройки скорости ускорения и замедления для каждого этапа: 100–2000 об/мин/с, временной диапазон для каждого этапа: 0–60 с.

2. Образец фиксируется методом вакуумной адсорбции, а также может быть зафиксирован методом склеивания или зажима, что очень просто в эксплуатации.

3. Степень вакуума может достигать -0,08МПа.

4. Образцы можно легко центрировать с помощью позиционирующего инструмента, чтобы уменьшить вибрацию или вылет, вызванные несоосностью.

5. В соответствии со спецификациями образца можно использовать различные патроны, а их замена удобна и проста.

6. Используется бесщеточный двигатель постоянного тока напряжением 24 В, который обладает такими преимуществами, как высокая надежность, высокая приспособляемость, простота ремонта и обслуживания, низкий уровень шума, небольшая вибрация, стабильная работа, быстрый и стабильный запуск, стабильная работа после ускорения, что обеспечивает постоянство и однородность толщины покрытия.

7. Безмасляный вакуумный насос с параллельными штангами используется, когда образец фиксируется посредством вакуумной абсорбции, и имеет такие преимущества, как небольшой размер, простая конструкция, простота эксплуатации, удобство обслуживания и отсутствие загрязнения окружающей среды.

8. Нанесение покрытия можно осуществлять в атмосфере инертного газа (например, Ар, N2).

9. При нанесении покрытия в условиях вакуума подложка образца фиксируется с помощью приклеивания или зажима.

10. Камера изготовлена ​​из полипропилена с длительным сроком службы, что повышает устойчивость к химической коррозии и трещинам под напряжением, а корпус машины изготовлен из литого алюминия, который отличается прочностью и малым весом.

11. Английская операционная система

12. Функция защиты от открытия крышки. При открытии верхней крышки во время или по окончании процесса нанесения покрытия машина немедленно резко замедляется до полной остановки.

13. Контроллер оснащен блоком управления с ЖК-дисплеем, который более интуитивен и надежен.

ТТехнические параметры

Сстандартные аксессуары

ТОдополнительные аксессуары

Гарантия

    Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)

Логистика