Вакуумный термоиспарительный аппарат с четырьмя источниками нагрева
ГСЛ-1800X-ZF4 — это установка для высоковакуумного напыления, специально предназначенная для напыления и нанесения покрытий на кислородочувствительные металлические плёнки (такие как Ти, Эл, Ау и т.д.) и низкомолекулярные органические соединения. Установка оснащена четырьмя нагревательными лодочками для напыления, каждая из которых может выполнять напыление независимо.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 22 рабочих дня
- 50 комплектов
- Информация
Введение в продукт
Установка для нанесения покрытий методом испарения ГСЛ-1800X-ZF4 представляет собой высоковакуумную систему нанесения покрытий методом испарения, специально разработанную для нанесения пленок чувствительных к кислороду металлов (таких как Ти, Эл, Ау) и низкомолекулярных органических материалов. Система оснащена четырьмя независимыми нагреваемыми испарительными лодочками, каждая из которых может работать отдельно. Поворотный экран над лодочками защищает остальные три лодочки во время испарения, эффективно предотвращая перекрестное загрязнение материалов. Благодаря дополнительной настройке конфигурации, система также может наносить органические материалы, что отвечает потребностям исследований в области светоизлучающих устройств и органических солнечных элементов. Это делает ее высокопроизводительной и экономичной лабораторной системой нанесения покрытий.
В нижней части камеры расположены пять электродов с водяным охлаждением, которые поддерживают температуру электродов во время работы, предотвращая их перегрев, плавление и повреждение. В установке используется металлическая вакуумная камера, способная достигать максимального вакуума 5,0×10-7 Торр. Предметный столик нагревается от комнатной температуры до 500 °C, что делает его идеальным выбором для экспериментов по нанесению покрытий методом высоковакуумного испарения.
Основные характеристики
1. Все блоки управления вакуумом собраны в одном блоке управления.
2. Он оснащен независимым контроллером тока испарения покрытия, который удобен и быстр в эксплуатации.
3. Вакуумная камера оснащена одним боковым откачным клапаном КФ40 (напрямую подключенным к механическому насосу передней ступени для повышения эффективности), одним запорным клапаном CF150 (напрямую подключенным к молекулярному насосу), одним фланцем КФ16 (для установки датчика сопротивления), шестью фланцами CF35 (один для установки ионизационного датчика, один для установки двухжильного электрода и один для установки измерителя толщины пленки) и 3 запасными.
4. В нижней части камеры имеется 5 охлаждаемых водой электродов, на которых могут размещаться 4 испарительные нагревательные лодочки.
5. Предметный столик устанавливается в верхней части камеры.
6. В камеру может быть установлен толщиномер пленки высокого разрешения, разрешение измерения толщины пленки (алюминий) составляет 0,1Å.
7. Можно использовать циркуляционный водоохладитель.
Технические параметры
Название продукта | ГСЛ-1800X-ZF4 Установка для нанесения покрытий методом испарения | |
Модель продукта | ГСЛ-1800X-ZF4 | |
Условия установки | Данное оборудование необходимо использовать при температуре 25℃±15℃ и влажности 55%резус-фактор±10%резус-фактор. 1. Вода: Оборудование оснащено самоциркуляционным водоохладителем (наполнение чистой или деионизированной водой). 2. Электричество: переменный ток 220 В, 50 Гц, необходимо хорошее заземление. 3. Верстак: напольного типа, площадью более 2 м2.2 5. Вентиляционное устройство: необходимо | |
Основные параметры (Спецификация) | 1. Вход: однофазный переменный ток 220 В, 50 Гц/60 Гц, мощность <2,16 кВт (без учета вакуумного насоса) 2. Выход испарения: напряжение переменного тока 0-8 В, плавная регулировка, предельный ток испарения 200 А, предельная мощность испарения <1,6 кВт 3. Вакуумная камера: Ø300 мм (внутренний диаметр)×360 мм (высота), нержавеющая сталь, электрополированная внутренняя стенка 4. Смотровое окно: Ø100 мм, уплотнено специальным уплотнительным кольцом. 5. Вакуумный насос: высокопроизводительный турбомолекулярный насос с производительностью 600 л/с. 6. Степень вакуума: 8,0×10-4Хорошо 7. Предел вакуума: 8,0×10-5Хорошо 8. Скорость утечки: 6,7×10-8Па·л/с 9. Предметный столик: φ120 10. Расстояние между испарительной лодочкой и предметным столиком: 140–200 мм 11. Требуемый расход охлаждающей воды: 15 л/мин. 12. Температура нагрева образца: комнатная температура ~ 500 ℃, автоматический контроль и измерение температуры. | |
Размеры и вес продукта | 13. Технические характеристики продукта: · Размеры: 900мм×1100мм×1800мм · Вес: 230 кг |
|
Гарантия
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
