Установка для нанесения покрытий методом вакуумного термического испарения с четырьмя источниками нагрева
ГСЛ-1800X-ЗФ4 Испарение Коутер — это высоковакуумный испарительный коатер, особенно подходящий для испарения и покрытия кислородочувствительных металлических пленок (таких как Ти, Эл, Ау и т. д.) и мелкомолекулярной органики. Машина оснащена 4 испарительными нагревательными лодочками, каждая из которых может выполнять испарение независимо.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 22 рабочих дня
- 50 комплектов
- Информация
Основные характеристики
1. Все блоки управления вакуумом собраны в одном блоке управления.
2. Он оснащен независимым контроллером тока напыления покрытия, который удобен и быстр в эксплуатации.
3. Вакуумная камера оснащена одним боковым откачным клапаном КФ40 (напрямую подключенным к механическому насосу передней ступени для повышения эффективности), одним запорным клапаном CF150 (напрямую подключенным к молекулярному насосу), одним фланцем КФ16 (для установки датчика сопротивления), шестью фланцами CF35 (один для установки ионизационного датчика, один для установки двухжильного электрода и один для установки измерителя толщины пленки) и 3 запасными.
4. В нижней части камеры имеется 5 водоохлаждаемых электродов, которые могут поддерживать 4 испарительные нагревательные лодочки.
5. Предметный столик устанавливается в верхней части камеры.
6. В камере может быть установлен толщиномер пленки высокого разрешения, разрешение измерения толщины пленки (алюминий) составляет 0,1Å.
7. Можно использовать циркуляционный охладитель воды.
Технические параметры
Название продукта | ГСЛ-1800X-ЗФ4 Установка для нанесения покрытий методом испарения |
Модель продукта | ГСЛ-1800X-ЗФ4 |
Условия установки | Данное оборудование необходимо использовать на высоте не более 1000 м, при температуре 25℃±15℃ и относительной влажности 55%резус-фактор±10%резус-фактор. 1. Вода: Оборудование оснащено самоциркулирующим водяным охладителем (заполнение чистой или деионизированной водой) 2. Электричество: переменный ток 220 В 50 Гц, должно быть хорошее заземление. 3. Верстак: напольного типа, площадью более 2 м2.2 5. Вентиляционное устройство: необходимо |
Основные параметры (Спецификация) | 1. Вход: однофазный переменный ток 220 В, 50 Гц/60 Гц, мощность <2,16 кВт (не включая вакуумный насос) 2. Выход испарения: напряжение переменного тока 0-8 В, плавная регулировка, предельный ток испарения 200 А, предельная мощность испарения <1,6 кВт 3. Вакуумная камера: Ø300 мм (внутренний диаметр)×360 мм, нержавеющая сталь, электрополированная внутренняя стенка 4. Смотровое окно: Ø100 мм, уплотнено специальным уплотнительным кольцом 5. Вакуумный насос: высокоскоростной турбомолекулярный насос со скоростью откачки 600 л/с 6. Степень вакуума: 8,0×10-4Хорошо 7. Предел вакуума 8,0×10-5Хорошо 8. Скорость утечки: 6,7×10-8Па·Л/С 9. Предметный столик: φ120 10. Расстояние между испарительной лодочкой и предметным столиком: 140–200 мм. 11. Требуемая охлаждающая вода: 15 л/мин. 12. Температура нагрева образца: комнатная температура ~ 500 ℃, автоматический контроль температуры и измерение температуры |
Размеры и вес продукта | Размеры: 900мм×1100мм×1800мм Масса:230 кг
|
Гарантия
Ограничение на один год с пожизненной поддержкой (не включая детали, заржавевшие из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика
