Высокоскоростной центробежный коутер с нагревательным кожухом 100ºC
Вакуумный центрифужный коатер VTC-100PA-I подходит для нанесения покрытий на полупроводники, кристаллы, оптические диски, пластины и т.д. Он может использоваться для нанесения покрытий на концентрированные кислотные и щелочные растворы. Оборудование оснащено двумя вакуумными присосками различных размеров (стандартных) в зависимости от размера образца. В памяти устройства хранится 12 наборов программ, каждый из которых содержит 6 рабочих этапов.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Введение в продукт
Вакуумный центрифужный коатер VTC-100PA-I предназначен для нанесения покрытий на поверхность полупроводников, кристаллов, оптических дисков и фотолитографии. Он подходит для нанесения покрытий с использованием концентрированных кислотных или щелочных растворов. Система стандартно поставляется с двумя вакуумными зажимными приспособлениями разных размеров, что позволяет пользователю выбрать подходящий зажим в зависимости от размеров образца.
Во время работы образец надёжно фиксируется на предметном столике с помощью вакуумного зажима. VTC-100PA-I может хранить до 12 программ, каждая из которых состоит из 6 последовательных шагов. Скорость вращения варьируется на разных столиках, что позволяет устройству постепенно достигать максимальной скорости. Это обеспечивает равномерное формирование тонкой плёнки на поверхности образца, минимизирует отходы материала и повышает эффективность.
VTC-100PA-I отличается простотой эксплуатации, лёгкостью очистки и компактной конструкцией. Он широко применяется в лабораториях университетов и научно-исследовательских институтов для процессов осаждения тонких плёнок.
Основные характеристики
1. Образец фиксируется методом вакуумной адсорбции, который прост в эксплуатации.
2. Степень вакуума может достигать -0,08МПа.
3. Образцы можно легко центрировать с помощью позиционирующего инструмента, чтобы уменьшить вибрацию или вылет, вызванные несоосностью.
4. В соответствии со спецификациями образца можно использовать различные патроны, а их замена удобна и проста.
5. Используется бесщеточный двигатель постоянного тока напряжением 24 В, который обладает такими преимуществами, как высокая надежность, высокая приспособляемость, простота ремонта и обслуживания, низкий уровень шума, небольшая вибрация, стабильная работа, быстрый и стабильный запуск, стабильная работа после ускорения, что обеспечивает постоянство и однородность толщины покрытия.
6. Безмасляный вакуумный насос с параллельными стержнями имеет такие преимущества, как небольшой размер, простая конструкция, легкость в эксплуатации, удобство обслуживания и отсутствие загрязнения окружающей среды.
7. Камера изготовлена из полипропилена с длительным сроком службы, что повышает устойчивость к химической коррозии и трещинам под напряжением, а корпус машины изготовлен из литого алюминия, который отличается прочностью и малым весом.
8. Нанесение покрытия можно осуществлять в атмосфере инертного газа (например, Ar, N2).
9. Английская операционная система
10. Функция защиты от открытия крышки. При открытии верхней крышки во время или по окончании процесса нанесения покрытия машина немедленно резко замедляется до полной остановки.
11. Интерфейс управления использует сенсорный экран и одноплатную компьютерную систему управления, а цифровой дисплей более интуитивен и надежен.
ТТехнические параметры
Название продукта | VTC-100PA-I Вакуумный центрифугирующий напылитель | |
Модель продукта | VTC-100PA-I | |
Условия установки | 1. Температура и влажность: 10–85% относительной влажности (при 25°C, без конденсации); Рабочая температура: 0–45°C. 2. Окружающая среда: Отсутствие источников сильной вибрации и едких газов. 3. Вода: оборудовано сливным отверстием. 4. Электропитание: однофазное переменный ток 220 В 50 Гц 10 А. 5. Газ: Вакуум (отрицательное давление) со скоростью откачки ≥70 л/мин; система также может быть подключена к защитным инертным газам (например, Ar, N₂). 6. Верстак: рекомендуемые размеры 800 мм × 600 мм × 700 мм, грузоподъемность ≥50 кг (предпочтительно цельный бетонный стол). 7. Вентиляция: Особых требований нет. | |
Основные параметры (Спецификация) | 1. Интерфейс источника питания: · Основной блок: AC220 В 50 Гц 10 А · Отопление: AC220V 50Hz 10A 2. Общая потребляемая мощность: ≤1150 Вт (без учета внешнего вакуумного насоса) 3. Камера нанесения покрытия (материал): полипропилен 4. Держатель образца (вакуумный зажим): вакуумные зажимы из ПТФЭ, Ø19 мм и Ø60 мм (по одному каждого) 5. Режим работы: до 12 программируемых рецептов; каждый рецепт включает 6 последовательных этапов. 6. Диапазон скорости отжима: 500–10 000 об/мин (эффективная) 7. Скорость ускорения/замедления: регулируется от 100 об/мин до 2000 об/мин на ступень. 8. Время нанесения покрытия: 0–60 секунд на этап 9. Стабильность скорости: ±1% 10. Система управления: микроконтроллер на печатной плате с клавиатурой и ЖК-дисплеем LMC 11. Способ нагрева: независимая система нагревательных трубок из углеродного волокна (отдельно от основного блока управления) 12. Диапазон температур нагрева: от комнатной температуры до 100°C 13. Мощность нагрева: AC220V, 1000W 14. Точность контроля температуры: ±2°C | |
15. Технические характеристики продукта: · Размеры: 450мм×340мм×280мм · Вес: 20 кг |
| |
Сстандартные аксессуары
Нет. | имя | кол-во | картина |
1 | Вакуумный зажимной патрон (включая уплотнительное кольцо) (Ø19мм иØ60мм) | 2 шт. |
|
2 | Центральный позиционер/локатор (включая 4 позиционирующих штифта) | 1 шт. |
|
3 | Инжектор/шприц для эпоксидной смолы (20 мл) | 1 шт. | |
4 | Кронштейн для инжектора/шприца | 1 шт. | - |
5 | Безмасляный вакуумный насос | 1 шт. |
|
6 | Резиновая трубка (включая зажим) | 1 шт. | - |
ТОдополнительные аксессуары
Нет. | имя | функциональный тип | картина |
1 | Вакуумные зажимные приспособления других спецификаций | (необязательный) | |
2 | Пипетка (сделано в Китае) | (необязательный) | |
3 | Пипетка (импортная) | (необязательный) |
|
Гарантия
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
Логистика






