Машина для вакуумного покрытия перчаточного бокса для солнечных элементов на основе перовскита

а. Трехфазная пятипроводная система. Пять проводов: 380 В переменного тока (+/-5%), 50 Гц, три провода под напряжением, один заземляющий провод и один нейтральный провод. Максимальная мощность 8 кВт, максимальный ток 32 А.

б. Кроме того, необходим независимый провод заземления оболочки.

2. Вода:

Расход 15-20 литров/минуту, температура от 15 до 25 градусов Цельсия, разница давления на входе и выходе воды от 1 до 2 кг, давление воды на входе от 2 до 3 кг, наружный диаметр входа и выхода воды оборудования составляет 12 мм (рекомендуется использовать более качественную резиновую водопроводную трубу); рекомендуется установить шаровой кран перед входом воды оборудования, чтобы можно было легко регулировать давление и расход воды.

3. Газ:

а. Сжатый воздух: сухой, чистый, безводный, безмасляный сжатый воздух, пластиковая воздухопроводная труба 8 мм, давление 5,5-6

кг (0,55-0,6 МПа).

б. Обычный азот: сухой азот, используется для нарушения вакуума в камере оборудования. Пластиковая воздухопроводная труба диаметром 8 мм, давление 1-2 кг (0,1-0,2 МПа).

1. Вакуумная камера из нержавеющей стали марки 304, внутренняя электрополировка, диаметр вакуумной камеры составляет около 400 мм в ширину, 400 мм в глубину и 450 мм в высоту, с вертикальной конструкцией передней и задней двери.

2. Передняя дверная направляющая имеет импортную конструкцию с двумя направляющими, с более согласованным внешним видом и ручным запиранием. Задняя дверца имеет ручную шарнирную конструкцию, которую легко затянуть и запечатать; система обеспечивает облицовку из нержавеющей стали с многокомпонентной структурой для легкой разборки и установки. Внутренние и внешние поверхности вакуумной камеры отполированы. Камера оснащена интерфейсами оборудования, такими как освещение и толщиномер пленки;

3. Левая сторона вакуумной камеры соединена с главным клапаном и молекулярным насосом, а также интерфейсом измерения вакуума. Верхняя часть оснащена вращающимся водоохлаждаемым столиком образца, перегородкой столика образца и интерфейсом зонда толщиномера пленки; нижняя пластина оснащена 2 наборами металлических испарительных электродов, 4 наборами органических источников и 2 портами установки зонда толщиномера пленки;

4. Передняя и задняя дверцы со стеклянными смотровыми окнами: 1 смотровое окно диаметром 4 дюйма с перегородкой на передней дверце вакуумной камеры; оснащено противообрастающим стеклом; 2 небольших смотровых окна на задней дверце для наблюдения за источником и образцом соответственно, оснащены противообрастающим стеклом.

II. Источник испарения: оборудован как металлическим источником испарения, так и неметаллическим источником испарения.

III. Полная система сигнализации: обнаружение и защита от нехватки воды и пониженного напряжения, обнаружение и защита от последовательности фаз, обнаружение и защита от температуры, обнаружение и защита вакуумной системы. Сигнализация о ненормальных условиях, таких как нехватка воды, перегрузка по току, перенапряжение и обрыв цепи насосов и электродов, и реализация соответствующих мер защиты; полная логическая программа блокировочной системы защиты.

IV.Метод контроля:

Панасоник ПЛК+сенсорный экран ручное автоматическое управление; скорость и конечная толщина могут быть введены, регулировка ПИД автоматически контролирует выходную мощность испарения. Содержание управления: механический насос, молекулярный насос, пневматический, электромагнитный клапан, вакуумметр и т. д.; автоматическое вакуумирование, автоматическое покрытие, автоматический выхлоп и т. д.;

Полная блокировка защиты (аппаратная, программная блокировка), в ручном и автоматическом режимах оборудование находится под полной блокировкой защиты для обеспечения безопасности персонала и оборудования. Кроме того, система оснащена устройством сигнализации обнаружения потока воды.

V. Конструктивные особенности: Система имеет универсальные колеса и ножки для удобства перемещения. (Как показано на рисунке)

МЫ. Подробности:

Молекулярное сито установлено перед механическим насосом, а защитные детали, такие как фильтры и жалюзи, установлены на выходе воздуха. Газовый тракт спроектирован так, чтобы избежать пыли. Органический источник установлен независимо внутри.

Все ступени образцов, перегородки источников и вращения ступеней образцов герметизированы магнитной жидкостью для обеспечения долговременной стабильности системы.

Реле, клеммные колодки, соединения водопроводных и газовых труб, электромагнитные клапаны и другие мелкие компоненты — все это высококачественная оригинальная продукция.

1. Вакуумная система:

Использование молекулярного насоса Чжунке Кейи с консистентной смазкой калибра ФФ-200/1300, скорость откачки: 1300 л/с + вакуумная система с механическим насосом Фэйюэ ВРД-16, 8-дюймовый пневматический клапан-откидка, измерение вакуума: один манометр низкого и один манометр высокого вакуума (диапазон от атмосферы до 3E-9 торр), автоматическое переключение управления измерением низкого и высокого вакуума. Показания вакуума вводятся в ПЛК для управления процессом.

Вакуумный клапан: Модель: 2 комплекта заслонок Ду40 мм; 1 комплект пневматического главного клапана Чжунке Кейи Ду200.

Вакуумное уплотнение: съемное статическое уплотнение герметизировано фторкаучуковым кольцом; редко разбираемое статическое уплотнение герметизировано бескислородной медью.

2. Предел вакуума:

Лучше, чем 2,0×10-5Па. Скорость утечки: Лучше, чем 5×10－8Па*л/с (национальный стандарт). После отключения на 12 часов степень вакуума составляет ≤5Па.

3. Скорость откачки: Время откачки: атмосферное давление ~ 5×10-4 Па менее 20 мин.

1. Конструкция выдвижного типа, вмещающая образец размером до 150*150 мм, оснащенная пневматическим отражателем подложки.

2. Расстояние между субстратом и источником испарения регулируется электрически, а максимальное расстояние регулировки электрического подъема составляет 60 мм.

3. Предметный столик вращается с функцией водяного охлаждения: скорость вращения предметного столика плавно регулируется от 0 до 30 об/мин.

1. Высоковакуумная машина для нанесения покрытий электронно-лучевым испарением оснащена 2 комплектами источников испарения лодочного типа. Металлический источник использует водоохлаждаемый медный электрод + конструкцию испарительной лодки (максимальная температура 1500 градусов). Высоковакуумная машина для нанесения покрытий электронно-лучевым испарением оснащена источником питания испарения мощностью 2,4 кВт. Источник питания источника испарения имеет два режима привода: постоянный ток и постоянное напряжение, которые можно переключать. Источник питания испарения может управляться программным обеспечением или вручную. Источник питания испарения также может автоматически регулировать скорость испарения с помощью измерителя толщины пленки ПИД (управление с замкнутым контуром). С цифровым дисплеем.

2. Высоковакуумная электронно-лучевая испарительная машина для нанесения покрытий оснащена 4 комплектами печей с органическим испаряющим пучком, 4 источниками питания для органического испарения, источниками органического испарения с функцией отображения температуры, а печи с органическим испаряющим пучком используют японские кондуктивные температурные контроллеры. Оснащена 4 комплектами тиглей, температура нагрева: 0-700 градусов по Цельсию; диапазон регулируемого угла: 0-15 градусов.

1. Электропитание: 5 В постоянного тока (±10%), максимальный ток 400 мА.

2. Частотное разрешение: ±0,03 Гц.

3. Разрешение толщины пленки: 0,0136Å (алюминий).

4. Точность измерения толщины пленки: ±0,5% в зависимости от условий процесса, особенно положения датчика, нагрузки на материал, температуры и плотности.

5. Скорость измерения: 100 мс-1 с/время, регулируемая.

6. Диапазон измерения: 500000Å (алюминий).