Непрерывная многокамерная система магнетронного распыления покрытий
1. Наша новая система магнетронного распыления покрытий ВТК-600GC-ЯВЛЯЮСЬ приводится в действие частотно-модулированным двигателем, что обеспечивает высокую степень автоматизации.
2. Система нанесения покрытия методом магнетронного распыления, тщательно спроектированная и контролируемая нашим техническим отделом, значительно повышает стабильность работы оборудования и существенно улучшает пользовательский опыт.
3. Система нанесения покрытий методом магнетронного распыления имеет более широкий спектр применения по сравнению с аналогичными изделиями, а ее компактные размеры облегчают хранение.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Внедрение системы нанесения покрытий методом магнетронного распыления:
Установка для нанесения покрытий методом напыления ВТК-600GC-ЯВЛЯЮСЬ – это новое высокопроизводительное оборудование для подготовки тонких плёнок, состоящее из передаточной камеры и камеры для нанесения покрытий методом напыления. Держатель подложки совершает возвратно-поступательные движения между двумя камерами, приводимый в движение частотно-модулированным двигателем, что обеспечивает автоматическую синхронную работу; положение возвратно-поступательного движения и скорость работы могут быть точно установлены. Обе камеры установки оснащены функциями калибровки позиционирования, поддерживающими быстрый возврат в исходное положение для обеспечения стабильности и повторяемости процесса.
Машина для нанесения покрытий методом распыления подходит для получения различных типов тонких пленок, включая: тонкие сегнетоэлектрические пленки, тонкие проводящие пленки, тонкие пленки из сплавов, тонкие полупроводниковые пленки, тонкие керамические пленки, тонкие диэлектрические пленки, тонкие оптические пленки, тонкие оксидные пленки, тонкие твердые пленки, тонкие пленки из ПТФЭ и т. д. Машина для нанесения покрытий методом распыления может быть оснащена многомишенной структурой и может работать в паре с источником питания ВЧ (для непроводящих мишеней) и источником питания постоянного тока (для проводящих мишеней) для удовлетворения потребностей в нанесении покрытий методом распыления на различные системы материалов, что обеспечивает ее широкое применение.
По сравнению с традиционным оборудованием, установка напыления ВТК-600GC-ЯВЛЯЮСЬ отличается не только широким спектром применения и высокой функциональной расширяемостью, но и компактной конструкцией, удобством эксплуатации и малыми габаритами. Это идеальная система для лабораторной подготовки высококачественных тонкопленочных материалов, особенно подходящая для передовых исследований в таких областях, как твердотельные электролиты, органические светодиоды (OLED) и органические/неорганические оптоэлектронные материалы.
ВТК-600GC-ЯВЛЯЮСЬ предоставляет исследователям профессиональное и эффективное решение для подготовки тонких пленок благодаря стабильной и надежной работе, высокой равномерности распыления и гибким возможностям расширения.
Основные характеристики установки магнетронного напыления:
• Двухкамерная структура: установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления состоит из камеры переноса и камеры распыления, что обеспечивает быструю передачу образцов и непрерывное нанесение покрытия, значительно повышая эффективность подготовки пленки.
• Гибкая конфигурация с несколькими мишенями: установка магнетронного распыления может быть оснащена несколькими мишенями, поддерживает как ВЧ-, так и постоянный ток и подходит для нанесения покрытий на проводящие и непроводящие мишени. Пистолеты можно свободно заменять в соответствии с требованиями процесса.
• Широкий спектр применения: установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления позволяет получать различные типы тонких пленок, включая металлические, оксидные, керамические, диэлектрические и оптические пленки, удовлетворяя потребности исследований в различных областях.
• Компактный размер и простота эксплуатации: установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления имеет небольшие габариты и разумную компоновку, что делает ее удобной для использования в лабораторных условиях.
• Модульная конструкция: передаточная камера, вакуумная камера, насосный агрегат и источник питания могут быть сконфигурированы независимо, что упрощает расширение и обслуживание.
• Дополнительная конфигурация источника питания: установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления поддерживает управление одним источником питания для нескольких целевых пушек или независимое управление несколькими источниками питания, что отвечает требованиям различных процессов подготовки пленки.
Технические параметры установки магнетронного напыления:
| Название продукта | ВТК-600GC-ЯВЛЯЮСЬ — непрерывная многокамерная система магнетронного распыления покрытий |
| Модель продукта | ВТК-600GC-ЯВЛЯЮСЬ |
| Основные параметры | 1. Конструкция оборудования: Настольная конструкция с открывающейся спереди поверхностью и расположением вакуумной системы сзади. 2. Предельный вакуум: 6,0 × 10⁻⁵ Па. 3. Скорость утечки: ≤ 0,5 Па / 1 ч. 4. Эффективность откачки: приблизительно 5 минут для откачки от атмосферного давления до 5,0 × 10⁻³ Па. 5. Сборка вакуумного насоса: комбинация механического насоса и молекулярного насоса. 6. Параметры образца: · Размеры: φ140 мм; · Диапазон температур: комнатная температура ~ 500 ℃ (может быть увеличена по запросу); · Точность регулирования температуры: ±1 ℃; · Скорость вращения: регулируемая 5–20 об/мин; · Дополнительный модуль смещения для улучшения качества пленки. 7. Система впуска: двухканальный массовый расходомер (Ар/N₂). 8. Угол установки мишени: угол 34° между мишенью и центральной осью предметного столика. 9. Количество целей: Стандартная конфигурация: 3 цели, расположенные на расстоянии 120° друг от друга (можно настроить большее количество целей). 10. Метод охлаждения объекта: Водяное охлаждение. 11. Размеры материала мишени: φ2″, толщина 0,1–5 мм (толщина варьируется в зависимости от типа материала мишени). |
| Согласие | Сертификация CE, УЛ или CSA доступна за дополнительную плату. |
Основные рабочие точки системы магнетронного распыления покрытий:
1. Обработка поверхности подложки: Перед нанесением покрытия поверхность подложки необходимо соответствующим образом обработать для обеспечения равномерной адгезии и долговечности. Возможные методы обработки поверхности включают очистку, дезактивацию, полировку и травление.
2. Выбор покрытия: При выборе покрытия необходимо учитывать его физико-химические свойства, растворимость, вязкость и содержание твердых веществ, а подходящее покрытие следует выбирать на основе требований к материалу.
3. Контроль толщины покрытия: Толщина покрытия — один из важных факторов, влияющих на его характеристики. Толщину покрытия необходимо контролировать в процессе нанесения покрытия, обычно контролируя скорость перемещения проволоки или ракеля, толщину пленки в машине для нанесения покрытия и вязкость покрытия.
4. Контроль равномерности покрытия: Равномерность покрытия также оказывает существенное влияние на его эксплуатационные характеристики. В процессе нанесения покрытия необходимо поддерживать равномерное распределение покрытия и следить за тем, чтобы на поверхности не было явных дефектов и пузырьков.
5. Настройка параметров лакировальной машины: Настройки параметров лакировальной машины также имеют решающее значение. Температура, скорость, уровень вакуума и другие параметры лакировальной машины должны быть настроены в соответствии с различными типами покрытий и подложек, чтобы гарантировать качество и производительность покрытия.
6. Безопасная эксплуатация: При работе с окрасочной машиной необходимо соблюдать меры предосторожности, особенно учитывая токсичность некоторых материалов. Во избежание вреда для персонала и окружающей среды рекомендуется использовать защитные очки, перчатки и респираторы.
О наших услугах:
Мы много лет занимаемся исследованиями и разработкой лабораторного оборудования, обладая передовыми технологиями и богатым опытом. Что касается планшетных лакировальных машин, то у нас есть многолетний опыт исследований и разработок, и наше оборудование обладает значительными преимуществами в плане точности, стабильности и эффективности.
