Система непрерывного многокамерного испарительного нанесения покрытий
1. Наша установка для вакуумного напыления позволяет осуществлять непрерывную подачу образцов, что делает ее идеально подходящей для профессиональных экспериментов или проектов.
2. Наша установка для вакуумного напыления полностью автоматизирована, что позволяет экономить средства на персонале и обучении.
3. Вакуумная установка для нанесения покрытий методом испарения оснащена четырьмя рабочими зонами, что ускоряет ход проекта и позволяет осуществлять раздельный нагрев.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Введение в работу установки для вакуумного напыления:
Установка для непрерывного нанесения покрытий методом испарения ГСЛ-1800X-ЗФ-ЯВЛЯЮСЬ представляет собой профессиональное устройство для нанесения покрытий методом испарения в условиях высокого вакуума с непрерывным вводом образцов. Установка имеет многокамерную конструкцию, включающую камеру переноса и камеру нанесения покрытия, что обеспечивает непрерывную передачу образцов и автоматизированные операции нанесения покрытий в стабильной вакуумной среде. Держатель подложки перемещается между двумя камерами, обеспечивая полностью автоматизированную синхронную работу, приводимую в действие частотно-модулированным двигателем. Положение и скорость перемещения установки регулируются, а наличие функций позиционирования в двух камерах и сброса исходного положения значительно повышает эффективность эксперимента и повторяемость нанесения покрытий.
Установка для непрерывного напыления особенно подходит для напыления чувствительных к кислороду металлических материалов (таких как Ти, Аль, Ау и др.) и органических материалов с малыми молекулами. Система вакуумного напыления с термическим испарением оснащена четырьмя независимо управляемыми нагревательными лодочками, каждая из которых способна выполнять независимый процесс испарения. Вращающаяся перегородка над каждой нагревательной лодочкой эффективно защищает другие лодочки во время работы в одиночном режиме, предотвращая перекрестное загрязнение испаряемого материала и обеспечивая чистоту пленки.
Изменение некоторых параметров позволяет использовать вакуумную систему термического испарения для нанесения покрытий из различных органических материалов, что делает ее идеальной для исследований перспективных материалов, таких как OLED-светодиоды и органические фотоэлектрические элементы (OPV). Пять водоохлаждаемых электродов расположены в нижней части камеры, обеспечивая непрерывную защиту электродов во время высокотемпературного испарения, предотвращая повреждения от термического плавления и повышая долговечность и стабильность системы.
Система вакуумного термического испарения ГСЛ-1800X-ЗФ-ЯВЛЯЮСЬ использует высоконадежную металлическую вакуумную камеру, обеспечивающую максимальное вакуумное давление системы 5,0 × 10⁻⁷ Торр. Предметный столик позволяет нагревать образцы (комнатная температура – 500℃), обеспечивая стабильную и контролируемую тепловую среду для нанесения высококачественных тонких пленок. Благодаря высокой вакуумной производительности, гибкости процесса и превосходной экономичности, система вакуумного термического испарения является идеальным выбором для научно-исследовательских учреждений и лабораторий, проводящих исследования в области высоковакуумного испарения.
Преимущества установки для вакуумного напыления методом испарения:
• Многокамерная конструкция установки для непрерывного нанесения покрытий методом испарения: состоит из камеры переноса и камеры нанесения покрытий методом испарения, что позволяет быстро и непрерывно наносить покрытия на образцы методом испарения.
• Централизованное управление вакуумной системой: вакуумный блок интегрирован в единый блок управления для удобства эксплуатации.
• Независимый контроль потока испарения: обеспечивает точную настройку скорости испарения.
· Камера оборудована одним перепускным клапаном КФ40 (напрямую соединенным с передним насосом для повышения эффективности откачки), одним задвижным клапаном CF150 (напрямую соединенным с молекулярным насосом), одним фланцем KF16 (для установки резистивного датчика) и шестью фланцами CF35 (один для ионизационного датчика, один для двухконтактного электрода, один для датчика толщины пленки и три запасных интерфейса).
· Высокоэффективная система водяного охлаждения: пять охлаждаемых водой электродов расположены в нижней части камеры и обеспечивают одновременную работу четырех нагревательных лодочек для осаждения из паровой фазы.
· Этаж для образцов в вакуумной установке для нанесения покрытий методом испарения имеет верхнюю конструкцию, что упрощает установку и эксплуатацию.
· Дополнительный высокоточный толщиномер: точность измерения толщины алюминиевой пленки до 0,1 Å.
· Установка для вакуумного напыления может быть оснащена циркуляционным водоохладителем для обеспечения долгосрочной стабильности работы.
Технические параметры установки для вакуумного напыления:
| Название продукта | Установка для нанесения покрытий методом непрерывного испарения ГСЛ-1800X-ЗФ-ЯВЛЯЮСЬ |
| Модель продукта | ГСЛ-1800X-ЗФ-ЯВЛЯЮСЬ |
Требования к установке системы вакуумного напыления | 1Данная система вакуумного нанесения покрытий методом термического испарения подходит для использования в условиях температуры 25℃±15℃ и относительной влажности 55%±10%. 2. Источник воды: Система вакуумного нанесения покрытий методом термического испарения оснащена системой самоциркуляции охлаждающей воды, требующей добавления очищенной или деионизированной воды. 3. Источник питания системы вакуумного напыления: однофазный переменный ток 220 В, 50 Гц, с обязательным надежным заземлением. 4. Рабочий стол системы вакуумного напыления: напольный, рекомендуемая площадь пола не менее 2 квадратных метров, обеспечивающая устойчивое размещение оборудования. 5. Вентиляция: Для обеспечения безопасности эксплуатации и эффективного отвода тепла необходимы хорошие вентиляционные или вытяжные системы. |
| Параметры системы вакуумного напыления | 1. Входное напряжение: однофазное переменное напряжение 220 В, 50/60 Гц.Мощность <2,16 кВт (без учета вакуумного насоса). 2. Выходная мощность испарения: переменное напряжение 0–8 В, плавно регулируемое, максимальный ток испарения 200 А, максимальная мощность испарения <1,6 кВт. 3. Вакуумная камера: внутренний диаметр Ø300 мм × высота 360 мм, нержавеющая сталь, внутренняя стенка электрополирована. 4. Смотровое окно: Ø100 мм, с использованием специального уплотнительного кольца для обеспечения герметичности. 5. Вакуумный насос: Высокоскоростной турбомолекулярный насос, скорость откачки 600 л/с. 6. Рабочий вакуум: 8,0×10⁻⁴Па. 7. Предельный вакуум: 8,0×10⁻⁵Па. 8. Скорость утечки: 6,7×10⁻⁸Па·л/с. 9. Эталонный столик для образцов: диаметр φ120 мм. 10. Расстояние между лодочкой для испарения и предметным столиком: регулируемое, 140–200 мм. 11. Потребность в охлаждающей воде: 15 л/мин. 12. Температура нагрева предметного столика: от комнатной температуры до 500℃, поддерживается автоматическое регулирование и измерение температуры. |
| Согласие | Сертификаты СЕ, УЛЬ или CSA предоставляются за дополнительную плату. |
О нас:
Наша компания, ориентированная на рынок научных исследований, в основном сотрудничает с колледжами и университетами, научно-исследовательскими институтами и лабораториями. Мы всегда стремимся служить обществу, используя инновационные технологии, ориентируясь на потребности клиентов и предоставляя профессиональные и эффективные услуги в области научных исследований. Наша цель — стать лидером в области научно-исследовательских приборов, заслуживающим доверия, уважаемым и обладающим международным влиянием и конкурентоспособностью.
