Непрерывная многокамерная система нанесения покрытий методом испарения
1. Наша машина для вакуумного напыления с испарением позволяет осуществлять непрерывную инъекцию образцов, что делает ее идеально подходящей для профессиональных экспериментов или проектов.
2. Наша вакуумная напылительная машина полностью автоматизирована, что позволяет экономить на персонале и затратах на его обучение.
3. Машина для нанесения покрытий методом испарения в вакууме оснащена четырьмя рабочими зонами, что ускоряет ход проекта и позволяет осуществлять раздельный нагрев.
- Shenyang Kejing
- Шэньян, Китай
- 10 рабочих дней
- 50 комплектов
- Информация
Внедрение машины для нанесения покрытий методом испарения в вакууме:
Установка для нанесения покрытий методом непрерывного испарения ГСЛ-1800X-ЗФ-ЯВЛЯЮСЬ – это профессиональное устройство для нанесения покрытий методом испарения в высоком вакууме с непрерывной инжекцией образцов. Установка имеет многокамерную конструкцию с передаточной камерой и камерой для нанесения покрытий методом испарения, что обеспечивает непрерывный перенос образцов и автоматизированное нанесение покрытий в стабильной вакуумной среде. Держатель подложки совершает возвратно-поступательные движения между двумя камерами, обеспечивая полностью автоматизированную синхронную работу благодаря приводу от частотно-модулированного двигателя. Положение и скорость возвратно-поступательного движения установки для нанесения покрытий методом непрерывного испарения настраиваются, а функции позиционирования двух камер и сброса исходного положения значительно повышают эффективность эксперимента и повторяемость нанесения покрытий.
Установка для нанесения покрытий методом непрерывного испарения особенно подходит для нанесения покрытий методом испарения на кислородочувствительные металлические материалы (такие как Ти, Эл, Ау и др.) и низкомолекулярные органические материалы. Система вакуумного термического испарения оснащена четырьмя независимо управляемыми нагревательными лодочками для испарения, каждая из которых способна выполнять отдельный процесс испарения. Поворотная перегородка над каждой нагревательной лодочкой эффективно защищает другие лодочки при работе с одной лодочкой, предотвращая перекрестное загрязнение испаряемого материала и обеспечивая чистоту пленки.
Благодаря изменению некоторых конфигураций система вакуумного термического испарения также может поддерживать нанесение покрытий методом испарения на различные органические материалы, что делает её идеальной для исследований передовых материалов, таких как OLED-светодиоды и органические фотоэлектрические элементы (ОПВ). Пять электродов с водяным охлаждением расположены в нижней части камеры, обеспечивая их постоянную защиту во время высокотемпературного испарения, предотвращая повреждение от термического оплавления и повышая долговечность и стабильность системы.
Система вакуумного напыления ГСЛ-1800X-ЗФ-ЯВЛЯЮСЬ использует высоконадежную металлическую вакуумную камеру, обеспечивающую максимальный вакуум 5,0 × 10⁻⁷ Торр. Предметный столик может нагревать образцы (температура от комнатной до 500 °C), обеспечивая стабильную и контролируемую тепловую среду для высококачественного осаждения тонких пленок. Благодаря высоким вакуумным характеристикам, гибкости процесса и превосходной экономической эффективности система вакуумного напыления ГСЛ-1800X-ЗФ-ЯВЛЯЮСЬ идеально подходит для исследовательских институтов и лабораторий, проводящих исследования в области напыления покрытий в высоком вакууме.
Преимущества вакуумно-испарительной напылительной машины:
· Многокамерная конструкция машины для нанесения покрытий методом непрерывного испарения: состоит из передаточной камеры и камеры для нанесения покрытий методом испарения, что позволяет быстро и непрерывно наносить покрытия методом испарения на образцы.
· Централизованное управление вакуумом: вакуумный блок интегрирован в интегрированный блок управления для простоты эксплуатации.
· Независимое управление током испарения: обеспечивает точную регулировку скорости испарения.
· Камера оснащена одним перепускным клапаном КФ40 (непосредственно подключенным к форвакуумному насосу для повышения эффективности откачки), одним запорным клапаном CF150 (непосредственно подключенным к молекулярному насосу), одним фланцем КФ16 (для установки датчика сопротивления) и шестью фланцами CF35 (один для ионизационного датчика, один для двухштырькового электрода, один для измерителя толщины пленки и три запасных интерфейса).
· Высокоэффективная система водяного охлаждения: пять охлаждаемых водой электродов расположены в нижней части камеры, одновременно поддерживая четыре нагревательные лодочки для осаждения из паровой фазы.
· Предметный столик вакуумной напылительной машины имеет конструкцию, монтируемую сверху, что упрощает монтаж и эксплуатацию.
· Дополнительный толщиномер пленки высокого разрешения: точность измерения толщины алюминиевой пленки до 0,1 Å.
· Машина для нанесения покрытий методом испарения в вакууме может быть оснащена циркуляционным охладителем воды для обеспечения долгосрочной стабильности работы.
Технические параметры вакуумно-напылительной установки:
| Название продукта | ГСЛ-1800X-ЗФ-ЯВЛЯЮСЬ Машина для нанесения покрытий методом непрерывного испарения |
| Модель продукта | ГСЛ-1800X-ЗФ-ЯВЛЯЮСЬ |
Требования к установке системы вакуумного нанесения покрытия | 1Эта система вакуумного напыления методом термического испарения подходит для использования в условиях температуры 25℃±15℃ и относительной влажности 55%РХ±10%. 2. Источник воды: Система вакуумного нанесения покрытия методом термического испарения оснащена самоциркуляционной системой охлаждающей воды, требующей добавления очищенной или деионизированной воды. 3. Электропитание вакуумной системы нанесения покрытия: однофазное переменный ток 220 В 50 Гц, обязательно с надежным заземлением. 4. Рабочий стол установки вакуумного нанесения покрытий: Напольный, рекомендуемая площадь пола не менее 2 кв.м., обеспечивающая устойчивое размещение оборудования. 5. Вентиляция: требует хорошей вентиляции или вытяжной системы для обеспечения безопасности эксплуатации и эффективного отвода тепла. |
| Параметры вакуумной системы нанесения покрытия | 1. Входная мощность: однофазный переменный ток 220 В, 50/60 Гц,мощность <2,16 кВт (без учета вакуумного насоса). 2. Выход испарения: переменное напряжение 0–8 В, плавно регулируемое, максимальный ток испарения 200 А, максимальная мощность испарения <1,6 кВт. 3. Вакуумная камера: Внутренний диаметр Ø300 мм × Высота 360 мм, нержавеющая сталь, внутренняя стенка электрополированная. 4. Смотровое окно: Ø100 мм, со специальным уплотнительным кольцом для обеспечения герметичности. 5. Вакуумный насос: Высокоскоростной турбомолекулярный насос, скорость откачки 600 л/с. 6. Рабочий вакуум: 8,0×10⁻⁴Па. 7. Предельный вакуум: 8,0×10⁻⁵Па. 8. Скорость утечки: 6,7×10⁻⁸Па·л/с. 9. Предметный столик: диаметр φ120 мм. 10. Расстояние между испарительной лодочкой и предметным столиком: регулируемое 140–200 мм. 11. Потребность в охлаждающей воде: 15 л/мин. 12. Температура нагрева образца: комнатная температура ～500 ℃, поддерживается автоматический контроль и измерение температуры. |
| Согласие | Сертификация CE, УЛ или CSA доступна за дополнительную плату. |
О нас:
Поскольку компания ориентирована на рынок научных исследований, нашими клиентами в основном являются колледжи и университеты, научно-исследовательские институты и лаборатории. Мы всегда стремимся служить обществу, используя инновационные технологии, ориентируясь на потребности клиентов и предоставляя профессиональные и эффективные научно-исследовательские услуги. Наша цель — стать лидером в области научно-исследовательских приборов, заслуживающим доверия, уважаемым, обладающим международным влиянием и конкурентоспособностью.
